濃度單位ppm、ppb和ppt詳解
ppm,全稱為"parts per million",中文指百萬分之一。表示在總量為一百萬份的混合物中,有多少份是我們需要關(guān)注的物質(zhì)。換句話說,1ppm等于1/1,000,000。
1ppm=1mg/kg 1ppm=1mg/L 1ppm= 0.0001%1 ppb = 1 μg/kg 1ppb=1ug/L1 ppt = 1 ng/kg 1 ppt =1ng/L 1ppm=1000ppb=1000000ppt極微量雜質(zhì)對芯片制造的影響
比如說,在硅晶體中,即使是ppb級別的微量雜質(zhì)也可能顯著改變硅的電性能。這是因為這些雜質(zhì)原子可能會成為電荷載流子,改變硅的導(dǎo)電性。因此,在半導(dǎo)體制造過程中,必須要嚴(yán)格控制雜質(zhì)的濃度,通常要求在ppb級別甚至更低。砷是一種常用的摻雜材料,用來改變硅的電性能。在這種情況下,砷的濃度可能會被控制在幾十ppb到幾百ppb的范圍內(nèi),這取決于制造的半導(dǎo)體設(shè)備的具體要求。
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比如說,在硅晶體中,即使是ppb級別的微量雜質(zhì)也可能顯著改變硅的電性能。這是因為這些雜質(zhì)原子可能會成為電荷載流子,改變硅的導(dǎo)電性。因此,在半導(dǎo)體制造過程中,必須要嚴(yán)格控制雜質(zhì)的濃度,通常要求在ppb級別甚至更低。砷是一種常用的摻雜材料,用來改變硅的電性能。在這種情況下,砷的濃度可能會被控制在幾十ppb到幾百ppb的范圍內(nèi),這取決于制造的半導(dǎo)體設(shè)備的具體要求。
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