透射電子顯微鏡（Transmission electron microscope，縮寫TEM），簡稱透射電鏡，是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān)，因此可以形成明暗不同的影像。通常，透射電子顯微鏡的分辨率為0.1～0.2nm，放大倍數(shù)為幾萬～百萬倍，用于觀察超微結(jié)構(gòu)，即小于0.2微米、光學(xué)顯微鏡下無法看清的結(jié)構(gòu)，又稱亞顯微結(jié)構(gòu)。

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成像原理與光學(xué)顯微鏡類似，與其不同在光學(xué)顯微鏡用可見光作照明束，透射電子顯微鏡用電子為照明束；光學(xué)顯微鏡中聚焦成像用玻璃透鏡，TEM中為磁透鏡。TEM電子波長極短，且與物質(zhì)作用遵從布拉格方程，產(chǎn)生衍射現(xiàn)象；TEM具有高分辨率且有結(jié)構(gòu)分析功能。

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