隨著電子產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域日益擴(kuò)大，半導(dǎo)體對(duì)我國(guó)發(fā)展具有重要的意義。半導(dǎo)體涉及行業(yè)廣泛，根據(jù)生產(chǎn)原料及工序的不同，產(chǎn)生廢水的廢水性質(zhì)也不同，但都存在著排水量大，污染能力強(qiáng)的特點(diǎn)，嚴(yán)重危害生態(tài)環(huán)境健康的同時(shí)也制約其發(fā)展。
污水來(lái)源及水質(zhì)特點(diǎn)
根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水污染物的特點(diǎn)，可將半導(dǎo)體廢水分為三類(lèi)，主要來(lái)源于生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的含氟廢水，有機(jī)廢水及金屬離子廢水，詳細(xì)介紹如下:
1、含氟廢水，廢水主要來(lái)自干半導(dǎo)體生產(chǎn)工序的刻蝕段，由于使用了大量的氫氟酸，氟化銨等試劑，產(chǎn)生的污染如氟化物，氨氨等濃度較高廢水一般呈強(qiáng)酸性;
2、有機(jī)廢水，其污染物質(zhì)主要是一些常規(guī)污染物，生產(chǎn)濃度跟生產(chǎn)工藝及操作管理水平關(guān)系較大，COD一般在200~3000mg/L金屬離子廢水，半導(dǎo)體廢水中的金屬離子種類(lèi)眾多，主要如銅，鎳，錫，鉛，銀等，濃度一般在幾十ma/L.
處理難點(diǎn)分析
高濃度的含氟廢水處理難度大，一般的化學(xué)沉淀法難以徹底去除水中的氟離子，在排放要求高的時(shí)候，應(yīng)對(duì)其采用多種組合工藝外理。半導(dǎo)體有機(jī)廢水濃度不會(huì)太高，但不同企業(yè)的水質(zhì)變化大，其進(jìn)水水質(zhì)需根據(jù)化驗(yàn)監(jiān)測(cè)結(jié)果來(lái)確定。對(duì)于不同種類(lèi)的高濃度金屬離子廢水，應(yīng)該分開(kāi)收集進(jìn)行處理，若廢水中含金屬離子種類(lèi)較多，工藝流程會(huì)較長(zhǎng)。
污水處理工藝
含氟廢水一般采用化學(xué)沉淀法，投加鈣鹽與水中的氟離子形成CaF2，再加以混凝劑輔助即可去除水中的氟離子。出水要求高時(shí)，可與生化法吸附法等聯(lián)合運(yùn)用。有機(jī)廢水一般采用經(jīng)濟(jì)高效的生化法，如單獨(dú)的好氣法或與缺氣法，厭氣法組合工藝，對(duì)千廢水中COD?氨氧、總氧等堂規(guī)污染物去除效果非常可觀。金屬離子廢水則需針對(duì)不同廢水不同種類(lèi)進(jìn)行選擇，常用的有化學(xué)沉淀法，吸附法，離子交換法等。
半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)需水其多，用水要求不高，一般建議將廢水做回用處理，以節(jié)約生產(chǎn)成本。具體可見(jiàn)我司零排放及中水回用單元。