Q1、UPS和XPS檢測價帶譜有什么區(qū)別？

（1）UPS的工作原理和XPS一樣，但是能量遠遠小于X光，因此有比較好的能量分辨率來研究價帶的電子結(jié)構(gòu)，是XPS手段的一個重要補充；

（2）XPS探測的是芯能級的電子信息，反映的是對應(yīng)元素的本征線性，由此來對材料的元素組成，元素價態(tài)情況等進行分析；而UPS探測的是價帶電子的結(jié)構(gòu)信息，價帶電子在材料中比較巡游，到處運動，反應(yīng)的是整個材料的關(guān)聯(lián)電子結(jié)構(gòu)；

（3）一般的UPS光源通過對惰性氣體放電來實現(xiàn)，He、Ne、Ar、Kr、Xe等，能量一般在幾十個eV左右。

Q2、XPS測試產(chǎn)生誤差的原因有哪些？

（1）樣品本身污染，或測試過程被周圍樣品污染；

（2）樣品不均勻，因為測試區(qū)域僅500微米，不同位置結(jié)果差別可能比較大；

（3）XPS是半定量分析，和元素實際含量會有出入，XPS測試的是樣品表面信息，不代表樣品整體性質(zhì)。

Q3、掃描次數(shù)和步長對XPS測試數(shù)據(jù)有什么影響？

（1）關(guān)于掃描次數(shù)：有些元素含量低，對掃描次數(shù)有要求，但是不同儀器設(shè)置的參數(shù)不一樣，所以不能只看掃描次數(shù)，每個數(shù)據(jù)里面有掃描次數(shù)和掃描時長，如下圖所示：

（2）關(guān)于步長：常規(guī)步長0.05ev，如果譜圖范圍比較寬，建議用0.1ev，縮短掃譜時間；下圖分別是步長0.05、0.1ev，對于譜圖范圍寬的，明顯步長大的信噪比更好；（步長大，數(shù)據(jù)間隔變小，數(shù)據(jù)的精細程度下降，噪點消失；但是譜圖較窄且步長設(shè)置較大的話就會影響數(shù)據(jù)精度）。

總結(jié)

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