Agilent 4155B半導(dǎo)體參數(shù)分析儀
Agilent 4155B是新一代精密半導(dǎo)體器件參數(shù)分析儀。它擁有的數(shù)字掃描參數(shù)分析儀, 可靠的測試儀,強(qiáng)有力的故障,分析工具,自動(dòng)檢查設(shè)施;幸免綜合至同參儀器中。
新產(chǎn)品的設(shè)計(jì)目標(biāo)清楚地瞄準(zhǔn)為亞微米幾何尺寸器件評(píng)估提供前所未見的精度和功能。 它是一種可靈活使用的儀器,無疑對(duì)從材料評(píng)價(jià)至器件性牟的表征,乃至后封裝等各 個(gè)階段的部分檢查和現(xiàn)場故障分析可提供諸多應(yīng)用,以改進(jìn)半導(dǎo)體器件的質(zhì)量。 正確方案的抉擇 Agilent 4155B設(shè)有四個(gè)內(nèi)置源/監(jiān)測單元(SMU),兩個(gè)電壓單元(VSU) ,兩個(gè)電壓監(jiān)測單元(VMU),對(duì)于具有非開氏連接的基本半導(dǎo)體連接, 4155B可謂是選擇,分辨為10fA/1μV測量范圍為100mA/100V。 任何時(shí)候,均可增添41501B SMU和脈沖發(fā)生器擴(kuò)展器。它由0V/1.6A接地單元饋送 可擴(kuò)展接收兩100mA/100V SMU或一個(gè)1A/200V SMU和兩上同步40V/1μs脈沖發(fā)生器。 設(shè)定和測量 Agilent 4155B可使用許多測量單元,包括Agilent 41501B做階梯,脈沖掃描測量, 采樣(時(shí)域)測量,而無需變動(dòng)連接。進(jìn)而,對(duì)于可靠性評(píng)估還可做應(yīng)力循環(huán)測量, 例如熱載流子的注入和快速EEPROM測評(píng)。