前言

筆者從事光刻機(jī)研發(fā)歷程10年，而今已脫離光刻機(jī)項(xiàng)目，雖然還在半導(dǎo)體裝備行業(yè)，但已經(jīng)脫離了保密協(xié)議規(guī)定的技術(shù)保密期，所以有關(guān)行業(yè)的內(nèi)幕和歷程可以透露一些。更多的是本人自己的回憶錄，不會涉及技術(shù)機(jī)密。筆者只是從一個基層研發(fā)人員談?wù)勚袊饪虣C(jī)研發(fā)歷程中的一個小點(diǎn)，畢竟只有10年工作經(jīng)驗(yàn)不可能成為光刻機(jī)研發(fā)項(xiàng)目的大領(lǐng)導(dǎo)。而且因?yàn)楣镜恼{(diào)動，我已脫離該項(xiàng)目多年。所以脫離前我只負(fù)責(zé)到分系統(tǒng)層面，更大的產(chǎn)品層面是我考慮不到的。

之所以寫這個回憶錄，是因?yàn)榫W(wǎng)上騙子很多，好多自稱ASML的研發(fā)工程師@是俗不可耐，在網(wǎng)上造謠。實(shí)則大量自媒體通過東平西湊的信息博眼球。這類科技新聞又很難辟謠，因?yàn)殛P(guān)鍵技術(shù)和研發(fā)進(jìn)展是國家保密的。所以網(wǎng)上大部分的新聞都是夸大的假新聞，或者是嚴(yán)重過時的。因?yàn)榫瓦B國家領(lǐng)導(dǎo)人也是最近才開始每周聽取一次進(jìn)展匯報，網(wǎng)絡(luò)自媒體怎么可能對項(xiàng)目進(jìn)展了如指掌呢？大多只是盲人摸象罷了。

光刻機(jī)項(xiàng)目屬于國家十一五計劃重大專項(xiàng)，這個已經(jīng)是眾所周知了。但這個專項(xiàng)不僅僅包括光刻機(jī)，光刻機(jī)只是其中一小部分。參與單位上百個，不過我司參與的是整機(jī)。它屬于半導(dǎo)體裝備行業(yè)。這個行業(yè)的前三是應(yīng)用材料，東京電子和ASML。但是半導(dǎo)體設(shè)備如果細(xì)分到光刻機(jī)，ASML壟斷了前道光刻機(jī)設(shè)備，后道和TFT還有其他公司在做，ASML只做FRONT END。排行第二的NIKON只有10%多一點(diǎn)的份額。ASML在世界有6000員工，在中國只有幾百人，主要是售后SUPPORT為主，研發(fā)總部在荷蘭。

所以如果網(wǎng)上有大佬自稱是ASML研發(fā)光刻機(jī)的，要么他在荷蘭，要么就是吹牛。