在氣體管路工程，尤其是氫氣管路等工程中，因為施工裝配等原因，管路之間的連接處會存在一些肉眼差距不到的漏孔，這在使用時會導致泄露以及安全事故。尤其是在半導體、集成電路等微電子行業(yè)輸送超高純電子氣體的氣體管道工程中，如果發(fā)生泄漏，將對生產(chǎn)安全產(chǎn)生很大影響，因此泄漏檢測非常重要。

工藝上對于純度要求高的氣體一般都需做氦檢，甚至要求氣體管路的漏率在每秒10*e-10CC才可以送氣，通常氣體的漏率要求在1.0*e-9 cc.atm/sec以上。

氣體管路密封的氦檢漏規(guī)定一般如下：

1、氦檢漏儀應采用質(zhì)譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統(tǒng)，內(nèi)向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦質(zhì)譜檢漏儀

特種氣體管道氦檢漏注意事項：

氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點經(jīng)修補后，應重新經(jīng)過氣密性試驗，合格后再按規(guī)定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統(tǒng)測試完畢，應充入高純氮氣或氬氣，并進行吹掃。測試完畢后，應提交測試報告。

氦檢漏的主要方法有：噴吹法、吸入法、氦罩法和背壓法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有操作簡便、準確可靠、安全高效、成本較低、用途廣泛等特點，而氦氣的分子非常小，僅次于氫氣，可偵測出非常小的漏點。

高純氦氣、氫氣管道用于輸送氦氣、氫氣。管道主要用鍍鋅管，法蘭，三通閥門，止逆閥門連接來進行氣體的輸送調(diào)節(jié)，具有良好的機動性能?？紤]安全性和成本考慮，防止氦氣或者氫氣的泄漏，需要對組裝完成的管路進行檢漏。

氦氣管道檢測同樣適用于氫氣管道檢測，采用氦質(zhì)譜檢漏儀正壓法檢測。氦質(zhì)譜檢漏儀正壓法檢測方法：

在無橫風條件下，將氦氣管道進行密封留一個檢漏口，先抽真空然后充入0.1Mpa壓力氦氮混合氣體，氦氮比例為1：10，靜置30分鐘，待氦氮混合氣體充分分布于管道內(nèi)，用吸槍連接檢漏儀后對連接口，焊縫等可疑漏點進行吸氦檢測。若管道有漏，氦氣會被吸槍吸入檢漏儀內(nèi)，超出氦檢儀本底值會自動報警，用此方法依次排查直至整個管道檢測完畢方可找出所有漏點。

氦質(zhì)譜正壓法檢漏

氦氣管道檢測同樣適用于氫氣管道檢測，采用氦質(zhì)譜檢漏儀正壓法檢測，具體檢測方法：在無橫風條件下，將氦氣管道進行密封留一個檢漏口，先抽真空然后充入0.1Mpa壓力氦氮混合氣體，氦氮比例為1：10，靜置30分鐘，待氦氮混合氣體充分分布于管道內(nèi)，用吸槍連接檢漏儀后對連接口，焊縫等可以漏點進行吸氦檢測。若管道有漏，氦氣會被吸槍吸入檢漏儀內(nèi)，超出氦檢儀本底值會自動報警，用此方法依次排查直至整個管道檢測完畢方可找出所有漏點。

有關(guān)于正壓吸槍法和負壓氦檢法的選擇，可以根據(jù)實際情況來考慮。諾益氦質(zhì)譜檢漏儀憑借卓越的品質(zhì)及穩(wěn)定的性能已廣泛應用在眾多行業(yè)上，滿足各種應用. 可滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.歡迎與交流討論!