蔡司工業(yè)ct掃描儀檢測(cè)過程對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響至關(guān)重要，工業(yè)CT檢測(cè)流程圖如圖1所示，檢測(cè)過程中每個(gè)環(huán)節(jié)都會(huì)直接影響檢測(cè)結(jié)果，下面從較為重要的流程來分析質(zhì)量控制的措施。

圖1 蔡司工業(yè)ct掃描儀檢測(cè)流程圖

　　(1)　熟悉檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)與樣品

　　檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)是檢測(cè)人員實(shí)施檢測(cè)的依據(jù)文件，不同檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)樣品、設(shè)備性能、檢測(cè)方法、判定規(guī)則等會(huì)有一定的差異，在檢測(cè)工作開展之前應(yīng)對(duì)檢測(cè)人員開展充足的標(biāo)準(zhǔn)培訓(xùn)與學(xué)習(xí)，確保其熟悉檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。樣品的大小、尺寸、結(jié)構(gòu)等會(huì)直接影響檢測(cè)參數(shù)的選擇與設(shè)定，檢測(cè)人員應(yīng)了解被檢物的結(jié)構(gòu)、尺寸、狀態(tài)、材料、密度、待檢缺陷主要類型等，明確檢測(cè)需達(dá)到的空間或密度分辨率、尺寸或密度測(cè)量精度等要求。

　　(2)　編制檢測(cè)工藝規(guī)程

　　檢測(cè)工藝規(guī)程是指導(dǎo)人員正確實(shí)施檢測(cè)的技術(shù)文件，工藝規(guī)程應(yīng)結(jié)合檢測(cè)樣品編制，必要時(shí)，可用標(biāo)準(zhǔn)試件對(duì)工藝規(guī)程進(jìn)行試驗(yàn)驗(yàn)證，得到的圖像符合質(zhì)量要求后才能實(shí)施檢測(cè)。工藝規(guī)程應(yīng)確保被檢樣品的夾裝方式、焦距、物距、旋轉(zhuǎn)角度、焦點(diǎn)尺寸、射線源參數(shù)、切片位置、切片數(shù)量、切片厚度、掃描視場(chǎng)、采樣時(shí)間、圖像矩陣、掃描方式、重建參數(shù)、圖像顯示及分析方法等參數(shù)符合要求。

　　根據(jù)前面的分析，影響密度分辨率的主要因素是系統(tǒng)噪聲，而電壓、電流是影響系統(tǒng)噪聲的關(guān)鍵參數(shù)，控制電壓與電流是確保密度分辨率符合要求的重要方法。

　　(3)　核查設(shè)備系統(tǒng)性能

　　實(shí)施檢測(cè)系統(tǒng)核查是確保每次檢測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性的基礎(chǔ)要求，每次開機(jī)時(shí)應(yīng)按系統(tǒng)使用說明書或相關(guān)程序?qū)I(yè)CT設(shè)備進(jìn)行暗場(chǎng)和空氣校準(zhǔn)，如系統(tǒng)校準(zhǔn)不滿足要求應(yīng)進(jìn)行重新校準(zhǔn)。

　　(4)　評(píng)估測(cè)量不確定度

　　任何的測(cè)量都會(huì)有誤差，工業(yè)CT檢測(cè)的部分參數(shù)(如尺寸)也會(huì)產(chǎn)生不確定度。目前，部分實(shí)驗(yàn)室對(duì)于檢測(cè)過程產(chǎn)生的測(cè)量不確定度還不夠重視，忽視測(cè)量不確定度的評(píng)定，可能造成對(duì)產(chǎn)品檢測(cè)結(jié)果的誤判，因此，工業(yè)CT檢測(cè)需要開展尺寸不確定度的評(píng)定，仔細(xì)分析影響不確定度的主要分量，才能使檢測(cè)結(jié)果的可信賴程度更高。影響工業(yè)CT尺寸測(cè)量不確定度的主要分量有測(cè)量模型引入的不確定度、被檢工件引入的不確定度、像素尺寸引起的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度、溫度差引入的不確定度以及系統(tǒng)誤差等，實(shí)驗(yàn)室可以按下式計(jì)算合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度：

　　式中：L為輸出尺寸;l為被檢工件的尺寸測(cè)量值;b為系統(tǒng)誤差;α為標(biāo)準(zhǔn)試塊的線膨脹系數(shù);Δt為實(shí)際測(cè)量溫度與標(biāo)準(zhǔn)溫度(20 ℃)的溫度差;δr為像素尺寸對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響;δv為標(biāo)準(zhǔn)試塊尺寸及其擴(kuò)展不確定度;δt為動(dòng)態(tài)誤差對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。

　　輸出尺寸L是關(guān)于輸入量l，b，lαΔt，δr，δv，δt的函數(shù)，且輸入量之間互不相關(guān)，根據(jù) GUM(丈量不確定度表示指南)法可得各靈敏系數(shù)，即：

　　所以，蔡司工業(yè)ct掃描儀尺寸測(cè)量的最終的合成不確定度為：

　　式中：u(l)為被檢工件的尺寸測(cè)量確定度;u(αΔt)為標(biāo)準(zhǔn)試塊線膨脹系數(shù)和實(shí)際測(cè)量溫度和標(biāo)準(zhǔn)溫度差乘積的不確定度;ur為像素尺寸引入的不確定度;uv為標(biāo)準(zhǔn)試塊尺寸引入的不確定度;ut為動(dòng)態(tài)誤差引入的不確定度;u(b)為系統(tǒng)誤差引入的不確定度。

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