SEM表征檢測主要檢測什么？
SEM表征檢測可應用于微觀形貌、顆粒尺寸、微區(qū)組成、元素分布、元素價態(tài)和化學鍵、晶體結構、相組成、結構缺陷、晶界結構和組成等。
SEM一般通過組合EDS使用，可利用EDS進行元素成分定性、定量分析。用來觀測芯片內部層次和測量各層厚度、觀測并拍攝局部異常照片和測量異常尺寸、測量芯片關鍵尺寸線寬和孔徑、定性和定量分析異常污 染物的化學元素組成。
SEM可以做的測試項目很多，以下是一些常見的測試項目：
表面形貌觀察：
SEM可以觀察各種材料的表面形貌，如金屬、陶瓷、聚合物、纖維和生物材料等。
微觀結構分析：
SEM可以分析各種材料的微觀結構，如晶體結構、晶粒尺寸、纖維結構等。
成分分析：
SEM可以用于分析材料的化學成分，如元素分析、化合物分析等。
表面化學性質測試：
SEM可以測試材料的表面化學性質，如表面活性、表面電荷等。
界面性質測試：
SEM可以測試材料的界面性質，如界面結構、界面能量等。
電子顯微圖像分析：
SEM可以分析電子顯微圖像，如線條、點、區(qū)域等特征，從而獲得樣品的形貌、大小、分布等信息。
微納加工：
SEM可以進行微納加工，如光刻、電子束曝光、離子束雕刻等，從而制造出各種微納結構。
SEM廣泛應用于物理學、化學、材料科學、生物學等多個領域，主要用于表面形貌和微觀結構的觀察、分析和測試。
在物理學中，SEM常用于研究微觀結構和物質的性質，如電子輸運、光電效應等。
在化學領域中，SEM可用于研究表面反應和材料結構的改變，如催化反應和化學吸附等。
在材料科學中，SEM可以用于研究材料的微觀結構、形貌和組成，如金屬、陶瓷、聚合物和生物材料等。
在生物學中，SEM可用于研究細胞結構、細菌、病毒和組織等微觀生物結構的形態(tài)和組成。
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