氦質(zhì)譜檢漏儀漏率怎么校準的？氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標準漏孔，可將標準漏孔拆卸進行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進行漏率部分的校準，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀漏率校準的方法

1、環(huán)境條件校準

環(huán)境溫度為（23±5)℃，校準過程中室溫變化不超過±1℃，環(huán)境相對濕度不大于80%。

校準設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾。

環(huán)境溫度最好控制在23℃附近,因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。

2、標準器的選擇

標準器采用滲氫型標準漏孔,漏率標稱值在(10-6~10-10) Pa·m3/s,不確定度不大于 10%。

精密玻璃溫度計,測量范圍(0~50) ℃,不確定度U=0.04℃,k=2。

3、校準方法

(1)漏率校準

①校準系統(tǒng)的組成校準系統(tǒng)由標準漏孔、截止閥及需校準的氫質(zhì)譜檢漏儀組成。如圖所示。

②示值誤差通電預熱,待復氦質(zhì)譜檢漏儀啟動完成后,采用標準漏孔對復質(zhì)譜檢漏儀進行校準,將一經(jīng)過校準的標準漏孔接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)，運行氦質(zhì)譜檢漏儀，待漏率示值穩(wěn)定后，可以讀出標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值，同一標準漏孔測量三次，計算氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值，從而得到標準漏孔漏率與氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結(jié)束后，將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進行測試，得到氦質(zhì)譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。

如果測試結(jié)果有較大偏差，可以考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標準漏孔進行測試。

4、數(shù)據(jù)處理

（1)漏率示值誤差①漏率的溫度修正標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃，所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算，并在測試結(jié)果中加以說明，修正方法如下：

方法一：將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值；

方法二：將標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環(huán)境溫度下，用標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值。

此方法對氦質(zhì)譜檢漏儀漏率部分進行校準，方法簡單明了，便于實際應(yīng)用，可操作性強，可以滿足氦質(zhì)譜檢漏儀漏率性能和使用要求，保證了氦質(zhì)譜檢漏儀漏率量值準確可靠。

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