隨著科學(xué)技術(shù)的日益發(fā)展，各個(gè)領(lǐng)域的產(chǎn)品精度要求也越來(lái)越高。優(yōu)可測(cè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)不斷地研發(fā)與試驗(yàn)，正式發(fā)布【薄膜厚度測(cè)量?jī)xAF-3000系列】，超高精度的測(cè)量參數(shù)和多層膜的測(cè)量能力，滿足了各行各業(yè)的薄膜測(cè)量需求，助力各行各業(yè)產(chǎn)品的制造與迭代和時(shí)代的進(jìn)步。

薄膜測(cè)量?jī)x是怎么測(cè)量薄膜厚度的？它究竟能測(cè)量多薄的膜呢？

01 測(cè)量原理

AF-3000系列儀器發(fā)出不同波長(zhǎng)的光波穿透樣品膜層，膜的上下表面反射光被儀器接收，反射光相互之間的相位差增強(qiáng)或減弱。

相位差為波長(zhǎng)整數(shù)倍時(shí)，產(chǎn)生建設(shè)性疊加，此時(shí)反射率最大；

相位差為半波長(zhǎng)時(shí)，出現(xiàn)破壞性疊加，反射率最低；

整數(shù)倍與半波長(zhǎng)之的疊加，反射率介于最大與最小反射之間。

這一相位差的變化，取決于薄膜的厚度d和折射率n已知材料的光學(xué)參數(shù) (n,k) 值，可以推導(dǎo)出這一光學(xué)系統(tǒng)的反射率R(λ,d,n,k)。

當(dāng)在設(shè)備中給光學(xué)參數(shù) (n,k) 賦值，可以計(jì)算得反射率R，使其與設(shè)備測(cè)得反射率R'，進(jìn)行比對(duì)通過(guò)強(qiáng)算法計(jì)算，當(dāng)反射率曲線R與實(shí)測(cè)反射率R'曲線完美擬合時(shí)，通過(guò)解析干涉圖形，即可求得薄膜的厚度d。

綜上，理論上來(lái)說(shuō)，只有透明或半透明材料制成的薄膜才可被光波穿透，從而可用薄膜厚度測(cè)量?jī)x來(lái)進(jìn)行測(cè)量。但是一些不透光材料，如金屬在某種情況下也能測(cè)量，當(dāng)金屬膜僅有幾百納米甚至是幾納米薄的情況下，也能被部分光波穿透，這時(shí)就能精確測(cè)量出膜的厚度。

02 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

（1）超高精度 分辨率1?

優(yōu)可測(cè)AF-3000系列舍棄傳統(tǒng)的整體波段擬合，采用了獨(dú)特的“分波段擬合算法”，偏差精準(zhǔn)校正，紫外線波段偏差顯著減小，從而實(shí)現(xiàn)超高分辨率1?。

1?是什么概念呢？正常人一根頭發(fā)的直徑約為60μm，1?就相當(dāng)于一根頭發(fā)直徑的六十萬(wàn)分之一！

（2）多層測(cè)量 光譜穩(wěn)定

優(yōu)可測(cè)AF-3000系列舍棄傳統(tǒng)的LED光源，而是采用了光強(qiáng)均勻、頻道穩(wěn)定的“氘燈”和“鎢鹵素?zé)?/span>”，支持測(cè)單層膜、多層膜、液態(tài)膜、氣隙層、粗糙/光滑層、折射率，最高可測(cè)10層膜。一臺(tái)機(jī)器覆蓋多臺(tái)機(jī)器的測(cè)量范圍，測(cè)量結(jié)果更加精準(zhǔn)。

（3）適用于多場(chǎng)景配置

優(yōu)可測(cè)AF-3000系列支持離線式、在線式、Mapping模式、全自動(dòng)多種測(cè)量場(chǎng)景，同時(shí)可客制化，針對(duì)實(shí)際應(yīng)用滿足客戶的額外需求。同時(shí)提供售后調(diào)試和協(xié)助軟件開發(fā)的服務(wù)。

03 應(yīng)用領(lǐng)域以及行業(yè)需求

當(dāng)前，薄膜厚度測(cè)量在各個(gè)行業(yè)中具有廣泛的應(yīng)用，涉及到：

精密光學(xué)行業(yè)的二氧化硅膜和氟化鈣膜等；

半導(dǎo)體行業(yè)的量子點(diǎn)芯片、光刻膠、GaN涂層等；

新能源/光伏行業(yè)的鈣鈦礦、ITO等；

顯示面板行業(yè)的涂布膜、微流道等；

刀具行業(yè)的表面鍍膜層；

高分子材料行業(yè)的PI膜等等。

04 應(yīng)用案例

案例一：

近期，優(yōu)可測(cè)收到某大學(xué)寄送的樣品，希望能測(cè)量硅片表面鍍的金屬鎳膜，用于研究使用，厚度僅幾納米！工程師得知客戶需求后，使用優(yōu)可測(cè)薄膜厚度測(cè)量AF-3000系列為客戶做檢測(cè)，得出檢測(cè)如下：

可以看出，AF-3000系列在測(cè)量過(guò)程中光波非常穩(wěn)定，檢測(cè)Ni膜膜厚約為3.5nm，匹配度達(dá)0.009081！

即使幾納米的金屬膜已經(jīng)非常薄了，但這還不是優(yōu)可測(cè)的測(cè)量極限！優(yōu)可測(cè)的薄膜厚度測(cè)量?jī)x擁有超高分辨率1?，精度達(dá)0.1nm，也就是說(shuō)，就算薄膜厚度只有1nm，我們的儀器同樣可以精確測(cè)量！

“沒想到優(yōu)可測(cè)在薄膜厚度測(cè)量領(lǐng)域的造詣如此之高，測(cè)量結(jié)果如此精確，這對(duì)我們的研究有很大的幫助，非常感謝優(yōu)可測(cè)工程師的專業(yè)性和及時(shí)性?！笨蛻羰盏綑z測(cè)報(bào)告后，對(duì)優(yōu)可測(cè)薄膜厚度測(cè)量?jī)x稱贊連連。

案例二：

某研究院希望能檢測(cè)PI膜的膜厚，精度要求0.1nm。優(yōu)可測(cè)工程師得知客戶需求后，使用優(yōu)可測(cè)薄膜厚度測(cè)量AF-3000系列為客戶做檢測(cè)，得出檢測(cè)結(jié)果如下：

如圖可以看出，檢測(cè)陶瓷基板上PI膜膜厚為4602.4nm，匹配度達(dá)0.009079！檢測(cè)銅上PI膜的膜厚為29657.2nm，其匹配度為0.291977。

優(yōu)可測(cè)的薄膜厚度測(cè)量?jī)x最高可測(cè)10層膜，膜的層數(shù)再多也阻擋不了優(yōu)可測(cè)測(cè)量的精確性！