對于中小型真空設(shè)備，旋片式油封式機(jī)械泵是最基本的真空獲取設(shè)備之一，屬于低真空泵，工作壓力范圍為101 325~1x 10-2Pa。它可單獨(dú)使用，也可以作為其他高真空泵的前級泵使用。旋片式油封式機(jī)械泵可用于抽取干燥氣體和一定量的可凝氣體。以下介紹了旋片式油封式機(jī)械泵的常見故障分析及維修辦法。?

1.真空性能較差

①泵體內(nèi)油有問題，機(jī)械泵性能表現(xiàn)和油的質(zhì)量及純度有著非常密切的關(guān)系。泵在使用過程中，所抽設(shè)備里的雜質(zhì)和水容易通過抽氣進(jìn)入真空泵油中，這種情況會嚴(yán)重影響機(jī)械泵的性能。因此，需要經(jīng)常對真空泵油進(jìn)行取樣觀察。如泵油有顆粒沉淀物、有水沉積、色彩較暗，則需要更換泵油并檢查進(jìn)氣口過濾器濾芯是否有損壞。注意不同種類或牌號的真空泵油不可混合使用。

②真空系統(tǒng)泄漏，檢查設(shè)備真空系統(tǒng)并檢漏。

③泵內(nèi)部元件損壞，拆開機(jī)械泵，檢查泵體旋片磨損情況，觀察泵體表面是否有劃痕，如泵體內(nèi)較臟或有粘糊狀物質(zhì)，則需清洗泵體和旋片后重新安裝。

根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，如泵體和旋片磨損較輕微，清洗后泵的真空度會有所下降，需測試是否可滿足設(shè)備真空性能需求。

如磨損嚴(yán)重，則需更換旋片或泵體，由于機(jī)械泵旋片和泵體之間間隙直接影響機(jī)械泵抽氣性能，一般需配合加工。如只更換其中之一，往往難以修復(fù)，需配合研磨。

2.機(jī)械泵無法正常旋轉(zhuǎn)

檢查機(jī)械泵的電氣連接，如是三相機(jī)械泵則確定其是否缺相，單相機(jī)械泵則檢查其電容。如機(jī)械泵供電正常，則需從聯(lián)軸器處將機(jī)械泵拆分為電機(jī)和泵體兩個部分。

斷電后分別手試旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸和泵體聯(lián)軸器，看是否有較大阻力，如電機(jī)無法旋轉(zhuǎn)則需拆開檢查其內(nèi)部轉(zhuǎn)子和軸承是否損壞；如泵體部分卡死則需拆下泵體內(nèi)旋片部分進(jìn)行檢查，如有必要，可清洗泵體內(nèi)部。

3.機(jī)械泵聲音異常

①輸入電壓問題。檢查輸入電壓是否異常，檢查電源，開關(guān)，線路連接情況。

②泵內(nèi)油位太低，檢查油窗，補(bǔ)充真空泵油。

③彈性聯(lián)軸器損壞。檢查聯(lián)軸器是否損壞，更換元件。

本文作者：劉 豪，張 強(qiáng)，趙志昊，丁文杰

本文部分摘自《半導(dǎo)體設(shè)備真空泵常見故障分析及維修 》

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