? 有機場效應晶體管(OFETS)是一種有源裝置，它能夠通過改變柵極電壓來改變半導體層的導電特性，然后操縱通過源漏極的電流。有機場效應晶體管作為電路中的基本元件，以其低功耗、高阻抗、低成本、可大面積生產(chǎn)等優(yōu)點，受到了廣泛的重視，并得到了迅速的發(fā)展。其組成元器件主要由電極、有機半導體、隔熱層和基板組成，這些元件對OFET的性能有很大影響。通過電漿清洗機對電極、有機半導體、絕緣層和基片進行處理，提高了材料的功能。
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1、基片襯底——電漿清洗機等離子處理，除去基片表面雜質(zhì)，改善表面活性
????????基片一般在晶體管的底層，首部起著支撐作用?？捎米鱋FET的基片材料：玻璃、硅片、石英、聚碳酸酯(PC)、聚乙烯萘(PEN)、聚酰亞胺(PI)、聚乙烯(PET)等。無機基板有高熔點、表面光滑的優(yōu)點，如玻璃、硅片、石英。雖然表面看起來很粗糙，但是這些數(shù)據(jù)顯示了像聚乙烯萘(PEN)和聚乙烯(PET)這樣的彈性可彎曲材料。電漿清洗機處理的襯底需要在準備階段對襯底進行處理，以去除襯底表面雜質(zhì)，提高表面活性。
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2、電極處理-電漿清洗機等離子處理
????????在有機場效應晶體管(OFET)中，電極是另一重要元件。通常認為，當有機半導體層/電極界面的電勢壘高度△E<0.4eV時，電極與有機半導體層之間可以形成歐姆接觸，對于P型OFET來說，其高已占軌道能級為-4.9eV至-5.5eV，且需選用功函數(shù)較高的，常用的有Au(-4.8eV-5.1eV)和ITO(-5.1eV)。普通ITO由于其功函數(shù)較低，要求采用進步功函數(shù)，因此能夠利用好準13.56MHz頻率VP-R3等離子處理器對其進行改進。