半導(dǎo)體廠務(wù)常用名詞縮寫整理
2023-08-16 13:00 作者:讓我來(lái)給你洗個(gè)瓶子 | 我要投稿
水處理類
UPW _超純水
RO?_?反滲透膜
DI _去離子水
TOC_總有機(jī)碳
PCW_制程冷卻水
DIWS_去離子水供應(yīng)端
DIWR_去離子水回水端
CW_自來(lái)水
FWW_低濃度氫氟酸廢水
IWW_工業(yè)廢水
OWW_有機(jī)溶劑廢水
DAHW_含氨廢水
RCL_制程回收循環(huán)水
RCM_制程回收再利用水
HFW_高濃度氫氟酸廢水
BGW_晶背研磨廢水
SAW_硫酸廢液
PAW_磷酸廢液
SW_剝離液廢液
TW_清洗廢液
PIX_廢液
氣體/化學(xué)類
VMB_閥箱
VMP_閥盤
GMS_氣體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
CDS_化學(xué)系統(tǒng)
PN2_高純氮?dú)?/p>
GN2_普通氮?dú)?/p>
DA_壓縮空氣
CDA_潔凈壓縮空氣
N2_氮?dú)?/p>
O2_氧氣
H2_氫氣
NH3_氨氣
Ar_氬氣
He_氦氣
管道縮寫
SS_不銹鋼
316_管道材質(zhì)
304_管道材質(zhì)
EP_電解拋光
BA_光亮退火
MP_機(jī)械拋光
AP_酸洗鈍化
Vent_排放
Pigtail_豬尾巴
先分享這些吧，要開(kāi)始上班了，下次分享空調(diào)噠！
