光刻膠SU-8 100/電子束光刻膠SU-8 GM1010電子束 負(fù)性/PAG改性SU8光刻膠
2022-06-01 16:45 作者:ruixishengwu | 我要投稿
電子束光刻膠SU-8 GM1010電子束呈現(xiàn)負(fù)性，具有高寬比大、?側(cè)壁垂直、?耐化學(xué)性優(yōu)異、單次旋涂可得超厚膜層（100μm）、金屬的粘附性好的性質(zhì)，適用于微細(xì)加工及其他微電子應(yīng)用。例如：傳感器、微流體元件、體硅器件、電鍍及電鑄、凸點(diǎn)制造等領(lǐng)域。
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紫外負(fù)性光刻膠
紫外正性光刻膠
聚酰亞胺光刻膠
共價(jià)鍵合單分子樹脂光刻膠
單分子分子玻璃光刻膠
微米尺度光刻膠
锍鎓鹽鍵合的分子玻璃單分子光刻膠
電子束光刻膠
共價(jià)鍵合單分子HPS-MSF樹脂光刻膠
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瑞禧WFF.2022.6
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