源測(cè)量單元(SMU)即:源表（又被成為數(shù)字源表），它同時(shí)具有測(cè)量和源兩種功能。也就是說(shuō)源表（SMU）測(cè)量?jī)x在測(cè)量?jī)x器上附加電流和電壓源功能，可同時(shí)精確采集和測(cè)量電壓和/或電流值。為各種低電平測(cè)量應(yīng)用提供了額外的靈活性。

例如:很高的電阻值可以通過(guò)在其兩端施加電壓，測(cè)量流過(guò)的電流值而獲得。增加了源功能的源表(SMU)顯然較使用幾臺(tái)獨(dú)立的儀器更方便，更適于應(yīng)用在檢測(cè)產(chǎn)生I-V特性曲線的半導(dǎo)體芯片或其它器件的測(cè)試方面。

典型的SMU可提供以下四種功能

電壓測(cè)量

電流測(cè)量

電壓源

電流源

這些功能可以單獨(dú)使用亦可按下列方式組合使用

做為電壓源的同時(shí)-測(cè)量電流，或做為電流源的同時(shí)-測(cè)量電壓。

SMU的許多特性類似于靜電計(jì),因此它適用于低電平測(cè)量。其輸入電阻非常高(典型值為100T-Q或更高)，做高源內(nèi)阻電壓測(cè)量時(shí)減小了電路的負(fù)載誤差。極小電流測(cè)量靈敏度類似于皮安表，有的低于10fA。

源表（SMU）的另一個(gè)重要特點(diǎn)是其掃描功能。無(wú)論電壓還是電流掃描均可以特定的增量在指定的量程內(nèi)進(jìn)行掃描，同時(shí)測(cè)量每一階梯的電流或電壓值。SMU內(nèi)置的源-延遲-測(cè)量循環(huán)可以使測(cè)量速度最優(yōu)化，以保證當(dāng)電流需要足夠的建立時(shí)間和測(cè)量的完整性。

如今的數(shù)字源表儀器與源-測(cè)量單元（SMU）是類似的,包括電流和電壓源，電流和電壓測(cè)量以及掃描等性能。此外數(shù)字源表儀器還可直接顯示電阻測(cè)量值。典型的數(shù)字源表不像源-測(cè)量單元那樣具有極高輸人電阻或極低的弱電流測(cè)量能力。數(shù)字源表是為常規(guī)的測(cè)試和高速生產(chǎn)測(cè)試等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。它通常用于中低電平測(cè)試和研發(fā)實(shí)驗(yàn)室。與只能做單點(diǎn)測(cè)量的數(shù)字多用表不同，數(shù)字源表由于其內(nèi)置了源功能，所以可以用來(lái)生成一組電流-電壓(I-V)特性曲線，這對(duì)于半導(dǎo)體器件和材料的測(cè)試是非常有用的。當(dāng)做為電流源時(shí)，數(shù)字源表可與納伏表一起使用，通過(guò)自動(dòng)反轉(zhuǎn)電流源的極性，修正偏置誤差來(lái)測(cè)量極低的電阻(即Delta模式)。

例如：觸摸屏數(shù)字源表是普賽斯新一代數(shù)字源表(SMU)儀器，它把歐姆定律(電流、電壓和電阻)測(cè)試帶到您的指尖。其創(chuàng)新的圖表化用戶界面(GUI)和先進(jìn)的電容觸摸屏技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了直觀使用和學(xué)習(xí)曲線簡(jiǎn)便化。

觸摸屏數(shù)字源表適用于各行各業(yè)使用者的源測(cè)量單元(SMU)：這種多用途儀器特別適合現(xiàn)代半導(dǎo)體、納米器件和材料、有機(jī)半導(dǎo)體、印刷電子技術(shù)以及其他小尺寸、低功率器件特性分析