Agilent 4155B半導(dǎo)體測試儀安捷倫

是新一代精密半導(dǎo)體器件參數(shù)分析儀。它擁有優(yōu)秀的數(shù)字掃描參數(shù)分析儀，可靠的測試儀，強(qiáng)有力的故障，分析工具，自動檢查設(shè)施；幸免綜合至同參儀器中。新產(chǎn)品的設(shè)計目標(biāo)清楚地瞄準(zhǔn)為亞微米幾何尺寸器件評估提供前所未見的精度。它是一種可靈活使用的儀器，無疑對從材料評價至器件性牟的表征，乃至后封裝等各個階段的部分檢查和現(xiàn)場故障分析可提供諸多應(yīng)用，以改進(jìn)半導(dǎo)體器件的質(zhì)量。

正確方案的抉擇

Agilent 4155B設(shè)有四個內(nèi)置源/監(jiān)測單元（SMU），兩個電壓單元（VSU）

，兩個電壓監(jiān)測單元（VMU），對于具有非開氏連接的基本半導(dǎo)體連接，

4155B可謂是優(yōu)秀選擇，分辨為10fA/1μV測量范圍為100mA/100V。

任何時候，均可增添41501B SMU和脈沖發(fā)生器擴(kuò)展器。它由0V/1.6A接地單元饋送

可擴(kuò)展接收兩100mA/100V SMU或一個1A/200V SMU和兩上同步40V/1μs脈沖發(fā)生器。

設(shè)定和測量

Agilent 4155B可使用許多測量單元，包括Agilent 41501B做階梯，脈沖掃描測量，

采樣（時域）測量，而無需變動連接。進(jìn)而，對于可靠性評估還可做應(yīng)力循環(huán)測量，

例如熱載流子的注入和快速EEPROM測評。

可通過前面板鍵，鍵盤，或GPIB（SCPI命令）多種途徑通過設(shè)置頁面和添入空格進(jìn)行

設(shè)定和測量，還可通過鈕掃描功能進(jìn)行短暫測量和查尋設(shè)定一類似于曲線描圖儀。

顯示和分析測量和分析結(jié)果顯示在彩色的LCD上，可由4個圖形存貯器做存貯器做存貯，

以便分析。比較。強(qiáng)有力的分析手段，使得很容易對諸如hFE,Vth等多種參數(shù)進(jìn)行抽取。

一旦查得參數(shù)抽取條件，則可通過-自動分析功能自動地取得。輸出和存貯設(shè)定、測量，分析數(shù)據(jù)均可由GPIB，燕行或網(wǎng)絡(luò)接口10Base-T LAN輸出至彩色繪圖儀和打印機(jī)，也可通過網(wǎng)絡(luò)或3.5寸盤存貯在MS-DOS或LIF格式文件Graphic (Agilent-GL,PCL功TIF）

輸出文件還允許將圖形轉(zhuǎn)換為桌面出版軟件。重復(fù)和自動測試Agilent 4155B的 Agilent儀器BASIC控制器，可在無控制器的外部儀器構(gòu)成自動測量系統(tǒng)?？赏ㄟ^多用觸發(fā)I/O功能與外部儀器相同步。

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