這周有兩件事傳的沸沸揚(yáng)揚(yáng)，第一個(gè)是光刻廠，第二是清華大學(xué)的論文。我們來詳細(xì)看看究竟是怎么回事？

（一）

光刻廠，位置在北京懷柔。

實(shí)際上是高能同步輻射光源（HEPS），是中科院、北京市共建懷柔科學(xué)城 的核心裝置，由國(guó)家發(fā)展改革委批復(fù)立項(xiàng)，中科院高能所承擔(dān)建設(shè)，為“十三五”國(guó)家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施。設(shè)施建成后，將成為世界上發(fā)射度最低、亮度最高的第四代同步輻射光源之一，最“亮”的光（比太陽亮一萬倍）將幫助人類更細(xì)致觀察微觀物質(zhì)的細(xì)節(jié)，為國(guó)家解決在資源、能源、環(huán)境、人口和健康等諸多領(lǐng)域面臨的挑戰(zhàn)提供科學(xué)基礎(chǔ)。

2023年3月，HEPS增強(qiáng)器全線貫通、儲(chǔ)存環(huán)隧道設(shè)備啟動(dòng)安裝、光束線站前端區(qū)啟動(dòng)試安裝，HEPS全面進(jìn)入科研設(shè)備安裝階段，自2019年6月啟動(dòng)建設(shè)，預(yù)計(jì)2025年完成交付并投入使用。

原理：加速電子生產(chǎn)光，在直線加速器的部分，會(huì)從電子槍發(fā)出電子加速到0.5GeV，隨后進(jìn)入到增強(qiáng)器，加速到6GeV，也就是6000兆電子伏特，最后電子進(jìn)入儲(chǔ)存環(huán)，以接近光速旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生同步輻射光。高能同步輻射光源可以應(yīng)用在生物學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、醫(yī)學(xué)、光刻技術(shù)等。

（二）

再來看一篇論文，去年清華大學(xué)教授發(fā)的《穩(wěn)態(tài)微聚束加速器光源》，我周五花點(diǎn)錢給它下載了，一共15頁，咱不是這方面專家，字都認(rèn)得，但組合在一起就看得挺費(fèi)勁的。

原理的部分比較復(fù)雜，直接看論文的關(guān)鍵地方：目前世界上唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商是荷蘭的ASML公司, 其采用的是激光等離子體 ( LPP) EUV光源。具體來說， 通過一臺(tái)功率大于20 kW的CO2氣體激光器轟擊液態(tài)錫形成等離子體, 從而產(chǎn)生 13.5 nm的EUV光。通過不斷優(yōu)化驅(qū)動(dòng)激光功率、EUV 光轉(zhuǎn)化效率、收集效率以及控制系統(tǒng), LPP-EUV 光源目前能夠在中間焦點(diǎn)處實(shí)現(xiàn) 350 W 左右的 EUV光功率，該功率水平剛達(dá)到工業(yè)量產(chǎn)的門檻指標(biāo)。產(chǎn)業(yè)界認(rèn)為 LPP 光源未來可以達(dá)到的 EUV 功率最高為 500 W左右, 想要繼續(xù)將 EUV光刻向3 nm以下工藝節(jié)點(diǎn)推進(jìn)， LPP-EUV光源的功率將遇到瓶頸。

用EUV光刻的EUV光源為L(zhǎng)PP、SRF-FEL、以及SSMB光源。其中LPP已經(jīng)是成熟的商業(yè)方案，但其功率進(jìn)一步提升有限，很難滿足EUV光刻長(zhǎng)期發(fā)展的需要。SRF-FEL可實(shí)現(xiàn)1—10 kW 量級(jí)的EUV光, 但其造價(jià)相對(duì)高昂, 規(guī)模較大。而且，要達(dá)到商業(yè)化所需能量利用效率，必須對(duì)其發(fā)光的電子束進(jìn)行能量回收，也即要采用能量回收型直線加速器 (ERL)方案，大流強(qiáng)、高品質(zhì)電子源等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)需要進(jìn)一步突破。SSMB 也可以實(shí)現(xiàn)大于1 kW的EUV光功率，且造價(jià)和規(guī)模適中。作為一種新型光源原理，SSMB原理實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證已經(jīng)實(shí)現(xiàn)，需要建設(shè)運(yùn)行在EUV波段的SSMB加速器光源研究裝置，培養(yǎng)科學(xué)及產(chǎn)業(yè)用戶，并提高其技術(shù)成熟度。另外，基于加速器的光源還具有易向更短波長(zhǎng)拓展的優(yōu)點(diǎn)，有望成為下一代采用波長(zhǎng)6.x nm的Blue-X光刻技術(shù)的主流光源。

通過加速粒子產(chǎn)生不同波長(zhǎng)的光，這個(gè)原理很早就有了，利用SSMB方案光刻在其實(shí)在國(guó)內(nèi)外都有研究。原理上可以驗(yàn)證，那么現(xiàn)實(shí)中造一個(gè)光刻廠就是時(shí)間問題了，而且第四代高能同步輻射光源即將建成。國(guó)內(nèi)光刻技術(shù)的報(bào)道很少，相關(guān)消息封鎖的很嚴(yán)密，總之有些江湖上的事情不是我們能打聽的，該讓世人知道的時(shí)候上面會(huì)發(fā)出來。

這個(gè)話題就先談到這，不再寫下去，對(duì)光刻廠的爭(zhēng)議很大，一些網(wǎng)友腦洞大開畫了很有意思的圖，大家可以去搜搜。個(gè)人的觀點(diǎn)就不說了，免得評(píng)論區(qū)淪陷，仁者見仁智者見智吧。炒股人最關(guān)心的還是賺錢，既然光刻廠可以實(shí)現(xiàn)，那么市場(chǎng)就會(huì)存在預(yù)期，我們來看看周五的盤面。

HEPS市場(chǎng)已經(jīng)提前反映了，中廣核技 、東方鉭業(yè) 、必創(chuàng)科技 、寶勝股份 首板漲停，就是因?yàn)檫@些票的漲停，帶動(dòng)了午盤光刻機(jī)的強(qiáng)化，光刻機(jī)和SSMB邏輯差不多，但路徑不同，涉及的股票也有差異。

先來看下HEPS的相關(guān)概念股：

粒子加速器——中廣核技、國(guó)力股份

中廣核技：旗下子公司中科海維研發(fā)成功上海光源（SSRF）加速管，成為國(guó)內(nèi)首家實(shí)現(xiàn)該型高科技產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，并出口用于巴西國(guó)家重大科研項(xiàng)目——“巴西光源”

國(guó)力股份：與中科院合作高功率微波器件

射頻腔——東方鉭業(yè)、必創(chuàng)科技 、西部材料 、英杰電氣

東方鉭業(yè)：鈮金屬具有超導(dǎo)性能優(yōu)異的特點(diǎn)，是粒子加速器中鈮超導(dǎo)腔的核心材料，主要應(yīng)用于高能同步輻射光源（HEPS）、加速器驅(qū)動(dòng)嬗變研究裝置（CiADS）、硬 X 射線自由電子激光裝置（SHINE）、強(qiáng)流重離子加速器裝置（HIAF）等國(guó)家大科學(xué)裝置，是國(guó)家重點(diǎn)支持產(chǎn)業(yè)。

必創(chuàng)科技：公司為同步輻射研究用科學(xué)儀器等方面提供新型高性能科學(xué)儀器及裝置。

西部材料：射頻超導(dǎo)腔用高RRR值昵材研究。

英杰電氣：中標(biāo)高能同步輻射光源（HEPS）調(diào)功柜。

模抑制器——國(guó)光電氣

國(guó)光電氣：中標(biāo)中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所高能同步輻射光源（HEPS）高次模抑制器

特種電纜——寶勝股份、長(zhǎng)飛光纖

寶勝股份：中標(biāo)中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所HEPS電線電纜

長(zhǎng)飛光纖：北京博邦弘光科技有限公司中標(biāo)中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所采用長(zhǎng)飛光纖光纜 產(chǎn)品

我們?cè)賮砜聪翬UV光刻機(jī)方向

光刻機(jī)方向很多個(gè)股的邏輯都說過了。龍頭聯(lián)合精密 6連板，這票有很好的反核基因。冠石科技二波二板，制造光掩膜版的。早上板塊走的一般，主要是HEPS走強(qiáng)帶動(dòng)了下午的光刻機(jī)，午后京華激光 、張江高科反包漲停，張江是核心股，邏輯最好，就是盤子大了一些。后排的高盟新材 、紅寶麗 沖板失敗。

無論是光刻機(jī)還是HEPS周五都走的挺好，這兩天光刻廠的消息持續(xù)發(fā)酵，因此明天前排需要頂一字加速才行，否則就算弱了。張江高科這個(gè)有持倉(cāng)繼續(xù)t，明天可以留意東方鉭業(yè)、固高科技 以及HEPS的低位股。