靜電卡盤是一種適用于真空環(huán)境或等離子體環(huán)境的超潔凈晶圓片承載體，它利用靜電吸附原理進(jìn)行超薄晶圓片的平整均勻夾持。該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于?PVD、PECVD、ETCH、EUVL、離子注入等高端半導(dǎo)體制造裝備。

靜電卡盤行業(yè)目前現(xiàn)狀分析

【地區(qū)發(fā)展情況】靜電卡盤市場主要由?PVD?設(shè)備、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等高端半導(dǎo)體裝備需求推動。受益于晶圓廠在中國大陸大規(guī)模投建，中國大陸成為半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模增長最快的地區(qū)，進(jìn)而推動靜電卡盤市場的快速增長。

【高度壟斷性】靜電卡盤市場具有高度壟斷性，主要由日本和美國等企業(yè)主導(dǎo)，包括美國應(yīng)用材料、美國?LAM、日本新光電氣、日本?TOTO?等公司。前四大企業(yè)占據(jù)90%以上的全球市場份額。

?靜電卡盤發(fā)展趨勢

【技術(shù)趨勢】除所承載晶圓規(guī)格尺寸逐步增大之外，?靜電卡盤的發(fā)展趨勢主要表現(xiàn)為溫度均勻性控制需求提升，即分區(qū)溫控溫區(qū)數(shù)量的提高。2000年前后，分區(qū)溫控溫區(qū)數(shù)量一般為?2?區(qū)，2000?年至?2005?年期間，分區(qū)溫控溫區(qū)數(shù)量一般為4區(qū)，而在現(xiàn)階段，已有超過100溫區(qū)的靜電卡盤產(chǎn)品被研發(fā)生產(chǎn)并投入實(shí)際應(yīng)用。

【市場趨勢】未來，亞太地區(qū)將會快速增長，尤其是中國大陸、臺灣、韓國等國家。預(yù)計(jì)2028年中國、臺灣、韓國分別占據(jù)全球21.72%，20.21%和17.81%的銷量市場份額。

全球靜電卡盤市場規(guī)模、行業(yè)現(xiàn)狀概況

2021年全球靜電卡盤市場銷售額達(dá)到了17.14億美元，預(yù)計(jì)2028年將達(dá)到24.12億美元，年復(fù)合增長率（CAGR）為5.06%（2022-2028）。從銷量上看，2021年全球靜電卡盤銷量為5.54萬件，2028年將達(dá)到7.99萬件。

靜電卡盤市場具有高度壟斷性，主要由日本和美國等企業(yè)主導(dǎo)，包括美國?Applied Materials、美國?LAM、日本新光電氣、日本?TOTO、日本?NTK?等公司。美國公司，如?Applied Materials?和?Lam，為自己的半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)靜電卡盤。他們將生產(chǎn)的PVD、CVD等設(shè)備配套靜電卡盤一起賣晶圓代工廠或?IDM公司，由于靜電吸盤屬于消耗品，使用壽命一般不超過兩年，因此靜電吸盤的替換量比較大。

Applied Materials、Lam Research?和?SHINKO?位居?2021?年全球半導(dǎo)體靜電吸盤市場收入份額前三名。Applied Materials?以43.86%的收入市場份額占據(jù)全球主導(dǎo)地位，Lam Research和SHINKO以31.42%和10.20%?的收入份額緊隨其后。

靜電卡盤市場主要由?PVD?設(shè)備、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)等高端半導(dǎo)體裝備需求推動。受益于晶圓廠在中國大陸大規(guī)模投建，中國半導(dǎo)體設(shè)備銷售額占全球比例快速上升。2021年，中國靜電卡盤市場規(guī)模達(dá)到了3.19億美元，預(yù)計(jì)2028年將達(dá)到5.24億美元，2022-2028年復(fù)合增長率（CAGR）為7.16%。

中國和臺灣在半導(dǎo)體靜電吸盤領(lǐng)域已經(jīng)有了一定的技術(shù)突破。中國大陸企業(yè)北京優(yōu)精密科技有限公司的靜電卡盤技術(shù)已達(dá)到客戶要求。臺灣公司CALITECH在靜電卡盤領(lǐng)域也有一定的突破。

目前中國市場的主要廠商包括：Applied Materials、Lam Research、SHINKO、TOTO、Creative Technology Corporation等，2021年主要廠商（top3）份額占比超過93.52%?，預(yù)計(jì)未來幾年行業(yè)競爭將更加激烈。

全球靜電卡盤銷量及銷售額分析

靜電卡盤行業(yè)供應(yīng)鏈分析

【上游情況】上游原材料為氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷。市場集中度較高，多數(shù)集中在日本、美國等。

【靜電卡盤行業(yè)情況】靜電卡盤市場具有高度壟斷性，主要由日本和美國等企業(yè)主導(dǎo)，包括美國AMAT、美國?LAM、日本新光電氣、日本?TOTO?等公司。我國北京華卓精科科技開發(fā)出?12英寸PVD氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上破除了國外廠商在該產(chǎn)品領(lǐng)域內(nèi)的長期壟斷局面。

【下游情況】目前國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在逐漸替代進(jìn)口設(shè)備，主要的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備企業(yè)包括中微、沈陽拓荊、北方華創(chuàng)等。

相關(guān)報(bào)告：【2022-2028全球與中國靜電卡盤市場現(xiàn)狀及未來發(fā)展趨勢】

本報(bào)告研究全球與中國市場靜電卡盤的產(chǎn)量、銷量、銷售額、價(jià)格及未來趨勢。重點(diǎn)分析全球與中國市場的主要廠商產(chǎn)品價(jià)格、銷量、銷售收入及全球和中國市場主要生產(chǎn)商的市場份額。歷史數(shù)據(jù)為2017至2021年，預(yù)測數(shù)據(jù)為2022至2028年。