使用光學(xué)的辦法來測量光刻膠圖形的線寬等幾何尺寸的儀器稱為散射儀。一款快速監(jiān)測表面退化的手持式儀器。

μScan散射儀構(gòu)成

μScan系統(tǒng)由一個(gè)手持主機(jī)(CU)、一個(gè)可更換的測量頭和一個(gè)獨(dú)立的充電器組成， 主機(jī)控制儀器的所有操作。

μScan散射儀用途

堅(jiān)固的手持式散射儀提供了一種快速、無損的方式來監(jiān)測表面粗糙度和光學(xué)特性。

它可以用于鏡面，各種反光面和精密加工表面。它可以在實(shí)驗(yàn)室、現(xiàn)場和制造環(huán)境中使用。

一個(gè)常見的用途是對難以移動的大型表面(如望遠(yuǎn)鏡反射鏡)進(jìn)行現(xiàn)場監(jiān)測。

另一種用途是在生產(chǎn)車間對大型制造薄板產(chǎn)品(軋制金屬，鍍膜玻璃等)進(jìn)行表面光潔度質(zhì)量控制檢查。結(jié)果顯示在LCD屏幕上，可以保存和傳輸 。

μScan散射儀測量

操作人員將測頭放在被測物體的表面上并按下按鈕，每次測量時(shí)間不超過5秒。

通過一次簡單測量，用戶可以確定在任何照明條件下平面或曲面上的RMS表面粗糙度、反射率和散射光水平(雙向反射分布BRDF)。

結(jié)果以數(shù)字方式顯示并存儲在系統(tǒng)內(nèi)存中。軟件可用于控制，分析和文件轉(zhuǎn)換。