書籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》

文章：硅片清洗的基本和關(guān)鍵的步驟

編號：JFKJ-21-160

作者：炬豐科技

摘要 ?

? 硅是制造眾多半導(dǎo)體材料中最有趣和最有用的材料。?在半導(dǎo)體器件制造中，各種加工步驟分為四大類，即沉積、去除、模塑和改性。?在每一個步驟中，晶圓清洗是圓表面或基片的化學(xué)和顆粒雜質(zhì)。本文對硅片清洗過程進行了分類綜述。?一些基本的簡要介紹了潔凈室的概念。 ?

關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體制造，硅片，硅片清洗，潔凈室。 ?

介紹 ?

? 半導(dǎo)體是一種固體物質(zhì)，兩者之間有導(dǎo)電性，絕緣體和導(dǎo)體的定義半導(dǎo)體的性質(zhì)。材料的關(guān)鍵在于它可以被摻雜雜質(zhì)改變了它的電子以一種可控的方式，硅是最常用的半導(dǎo)體材料。生長，外套，否則轉(zhuǎn)移材料到晶圓上。?移除是任何過程比如蝕刻和化學(xué)機械平化去除材料。?模式是關(guān)于塑造或沉積材料的改變一般稱為平版印刷。最后，電氣改造性質(zhì)是通過摻雜雜質(zhì)來完成的半導(dǎo)體材料。目的晶圓清洗過程是去除化學(xué)物質(zhì)和顆粒，?沒有改變或損壞的雜質(zhì)晶片表面或基片。對晶片進行預(yù)擴散清洗清潔的意思是創(chuàng)造一個表面不含金屬、微粒和有機物污染物、金屬離子去除干凈?即去除金屬離子對半導(dǎo)體的有害影響裝置操作，顆粒去除清潔就是指在其中去除顆粒從表面使用化學(xué)或機械，使用超音波清洗，?蝕刻后清除光刻膠，?和蝕刻過程后留下的聚合物。 ?在這張紙上，為硅片清洗、不同程序等 。南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司標(biāo)準(zhǔn)清洗，清潔，對超聲波清洗進行了討論。

本文還研究了硅片清洗程序RCA清洗 ，標(biāo)準(zhǔn)化，生物清潔等問題。?