石英管在半導(dǎo)體上的應(yīng)用
東??h鴻志石英制品除銷售石英管、石英棒、石英板等原材料外,主要將以上原材料加工處理衍生出各種石英產(chǎn)品
石英具有很多的優(yōu)勢,具有堅(jiān)硬、耐磨、化學(xué)性能穩(wěn)定等特性,這些特性使得石英具有廣泛的應(yīng)用,可以用于制作半導(dǎo)體、電光源器、半導(dǎo)通信裝置、激光器,光學(xué)儀器,實(shí)驗(yàn)室儀器、電學(xué)設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備等多種領(lǐng)域。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,石英玻璃被廣泛的用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的各項(xiàng)工序中。比如,直拉法把多晶轉(zhuǎn)化成單晶硅;清洗時(shí)用的清洗槽;擴(kuò)散時(shí)用的擴(kuò)散管、刻槽舟;離子注入時(shí)用的鐘罩等等。
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