1、真空泵分為機械真空泵：旋片泵、往復泵、滑閥泵、羅茨泵、分子泵和液環(huán)泵等。

2、真空泵分為蒸汽流真空泵：水蒸汽噴射泵、油增壓泵和油擴散泵等。

3、真空泵分為氣體捕集真空泵：鈦濺射離子泵、低溫泵、分子篩吸附泵和鋯鋁吸氣泵等。

4、真空泵分為真空機組：即由產(chǎn)生真空、測量真空和控制真空等組件組成的各類機組。