平面波導(dǎo)延時線具有尺寸小、易集成等優(yōu)勢，不僅可以通過精確調(diào)制波導(dǎo)長度控制延時時間，而且能容易地制備出超長的波導(dǎo)線，在硅光子集成芯片系統(tǒng)中有著重要的應(yīng)用。OFDR測試儀器擁有高達(dá)10um的空間分辨率，可快速精準(zhǔn)表征出硅光芯片內(nèi)部情況，本文使用基于OFDR原理的高分辨率光學(xué)鏈路診斷儀（OCI）對平面光波導(dǎo)延遲線進(jìn)行測量，以亞毫米級別的分辨率診斷其內(nèi)部光路插損、回?fù)p、距離等信息。

圖1為在石英襯底上集成的平面波導(dǎo)延遲線內(nèi)部光路示意圖。

圖2為平面波導(dǎo)延遲線內(nèi)部光路測試結(jié)果，通過圖中回波損耗曲線峰值可以看出首尾耦合位置，兩者之間長度為波導(dǎo)長度（3.073m），斜坡下降的幅值代表整個波導(dǎo)產(chǎn)生的損耗，約為3.3dB/m。平面波導(dǎo)的回波曲線呈周期性是由螺旋型光路導(dǎo)致，中間兩個突起峰是由于光路中心有較大的彎曲損耗。

因此，平面波導(dǎo)延遲線的波導(dǎo)長度、波導(dǎo)損耗和耦合位置回?fù)p決定其品質(zhì)好壞，高分辨率光學(xué)鏈路診斷儀（OCI）能夠以亞毫米級別的分辨率掃描芯片光鏈路，得出各個點的回波損耗表征出整個光路信息，這些光學(xué)參數(shù)精準(zhǔn)測試為硅光芯片科研人員提供解決思路。