立儀科技是一家以精密光學檢測為主業(yè)的民營高科技企業(yè)，光譜共焦位移傳感器及其應用配套為主推產(chǎn)品。立儀科技的關鍵研發(fā)人員在激光位移測量、3D掃描領域有十幾年的經(jīng)驗，發(fā)現(xiàn)光譜共焦比激光三角法精度高適應性廣。該傳感器屬于有些國家對出口中國進行精度限制的產(chǎn)品。

我們還提供本土的相關技術支持、產(chǎn)品選型、應用方案咨詢、測樣驗證、配套組件、開發(fā)協(xié)助、非標定制、校準維修，讓客戶用的舒心，用的放心。

光譜共焦位移傳感器被重慶大學一位資深導師研究，重慶大學(ChongqingUniversity，CQU)，簡稱重大，位于重慶市，截至2021年3月，學校有4個校區(qū)，占地面積5200余畝，校舍建筑面積近170萬平方米;設有二級學院36個，開辦本科專業(yè)99個;有一級學科博士學位授權點35個、二級學科博士學位授權點1個、一級學科碩士學位授權點53個、專業(yè)學位授權類別25個;有在校學生47000余人，其中研究生20000余人，本科生26000余人，來華留學生1700余人;有教職工5300余人，其中專任教師2900余人;圖書館累計藏書495.26萬冊。

有幸重慶大學這位資深導師主要是研究功率半導體的熱應力，熱應力會產(chǎn)生形變，立儀科技光譜共焦測量從而建立形變的模型。

一、光譜共焦的原理：

1、在線非侵入式、原位表征方法

2、光學色差現(xiàn)象

2、精確波長的光聚焦到被測物體上

4、通過測量反射光的波長確定距離

5、測量范圍0~150μm、精度0.1nm

二、形變：光譜共焦方法

1、熱力耦合多物理場仿真

2、COMSOL多物理場仿真軟件

3、溫度分布：中間高，四周低

4、形變分布：中間高，四周低

三、形變：測試平臺，SiC功率模塊的熱應力表征平臺

1、功率對拖電路拓撲

2、光譜共焦儀(10nm分辨率)

3、恒溫水冷箱(65℃)

四、形變：實驗結(jié)果

1、恒功率加載實驗

電壓、電流和形變波形

形變隨電流變化

芯片位置的形變分布

瞬態(tài)形變是穩(wěn)態(tài)形變的10%

中間高，四周低

2、形變是功率模塊的固有屬性

穩(wěn)態(tài)形變1μm/A左右，瞬態(tài)形變0.1μm/A左右

五、形變：芯片應變重構，以點帶面，重現(xiàn)芯片的微觀形變

1、芯片形變決定焊料層失效

2、芯片中心形變大

3、芯片邊沿形變小

4、穩(wěn)態(tài)形變與瞬態(tài)形變的趨勢一致

5、為芯片和封裝設計提供參考

這次的產(chǎn)品有光譜共焦位移傳感器廣泛應于面板顯示/點膠/測量，3C/手機/通訊，飛機、高鐵、汽車玻璃、車燈、火箭零件、零件尺寸測量。激光加工引導。在交通、新能源、醫(yī)療等攸關民生的領域，光譜共焦位移傳感器也能起到輔助作用，幫助飛機、高鐵、電池、玻璃容器等制造得更精細、更優(yōu)質(zhì)。在實際應用中，光譜共焦位移傳感器也憑借其高精度、高穩(wěn)定性、高泛用性等鮮明優(yōu)勢，贏得了高度認可。

此次，感謝重慶大學導師對光譜共焦傳感器進行全面的實驗，并給于滿意的實驗結(jié)果。未來，深圳立儀科技公司以打造高規(guī)格的光譜共焦位移傳感器并減少成本普及推廣為志向，匯集在光譜共焦領域光學、機械、軟件人才和合作伙伴晝夜奮戰(zhàn)，數(shù)年磨一劍，開發(fā)出自主知識產(chǎn)權的精密光譜共聚焦位移傳感器商業(yè)化產(chǎn)品系列，掌握核心技術，破除封鎖彌補空白，并在原有基礎上有大幅改進并申請了多項發(fā)明專利。