哈工大再次立功，光刻機(jī)核心部件取得重大突破，已用于DUV光刻機(jī)
2023-03-01 13:56 作者:bili_77558176685 | 我要投稿
哈工大在光刻機(jī)核心部件取得重大突破，已經(jīng)可用于DUV光刻機(jī)
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?- 哈爾濱工業(yè)大學(xué)胡鵬程教授團(tuán)隊(duì)研制的高速超精密激光干涉儀
- 榮獲首屆“金獎(jiǎng)”中國(guó)光電儀器品牌榜金獎(jiǎng)
- 幾何量精密測(cè)量最高水準(zhǔn)的典型代表
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