氦質(zhì)譜檢漏儀是一種利用氦作為泄漏氣體分析儀測(cè)量氦泄漏的質(zhì)譜儀。所以今天小將介紹氦質(zhì)譜檢漏儀在真空值驗(yàn)證中的應(yīng)用，詳見(jiàn)以下內(nèi)容：

氦是一種稀有氣體，不會(huì)腐蝕設(shè)備，不會(huì)與真空設(shè)備發(fā)生化學(xué)變化，無(wú)毒，不會(huì)污染環(huán)境，使用非常安全。對(duì)容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境的干擾較小，常用作泄漏氣體。

氣體噴射在連接檢漏儀（即調(diào)整到只對(duì)氦反應(yīng)的工作狀態(tài)氣體分析儀）的被檢容器上。如果容器有漏孔，分析儀會(huì)發(fā)出聲音，然后了解漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏技術(shù)是真空檢測(cè)領(lǐng)域不可缺少的技術(shù)。由于其檢測(cè)效率高、簡(jiǎn)單易行、儀器反應(yīng)靈敏、精度高、不受其他氣體影響，廣泛應(yīng)用于電阻爐檢測(cè)泄漏。

將氦注入一定壓力，然后用正壓探傷設(shè)備檢測(cè)所有接頭。發(fā)現(xiàn)泄漏記錄將與發(fā)泡系列號(hào)一一對(duì)應(yīng)。如果大允許結(jié)果超過(guò)用戶設(shè)置，將立即回顧。然后，無(wú)油前泵和渦輪分子泵安裝在10排發(fā)泡設(shè)備上。通過(guò)軟件的完全控制，外部管道抽真空并保持運(yùn)行狀態(tài)，然后操作員使用外部噴霧觀察所有接頭，質(zhì)譜系統(tǒng)可以監(jiān)督任何氦泄漏。經(jīng)滲水檢測(cè)后，將汽化器抽真空烘烤。

實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，質(zhì)譜儀系統(tǒng)將主動(dòng)分析氣泡體和連接管中的氣體。為了保證實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性，所有鼓包機(jī)的原水、氧和溶劑的濃度必須低于1ppm。測(cè)試結(jié)束后，應(yīng)提示操作人員測(cè)試結(jié)果是否合格，并記錄所有數(shù)據(jù)測(cè)試，便于跟蹤。

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