? ? ? ?隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)于精密微?。{米級(jí)）的微電子器件，要去測(cè)試它的基本電學(xué)性能（如電流、電壓、阻抗等）?時(shí)配有顯微鏡的高精度探針臺(tái)能夠提供良好的電測(cè)環(huán)境。通過(guò)顯微鏡和CCD將待測(cè)器件放大，用高精度微探針對(duì)待測(cè)器件進(jìn) 行扎針再外接電學(xué)測(cè)試儀表進(jìn)行測(cè)試和分析。此外，對(duì)于一些怕氧化、需要保存在真空中的器件，即便在電學(xué)測(cè)試的過(guò)程中 也需要將樣品置于真空環(huán)境中，因此室溫真空探針臺(tái)是這種類型測(cè)試的不er選擇。

? ? ? ?室溫真空探針臺(tái)能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)室溫真空測(cè)試環(huán)境，通過(guò)外接不同的電學(xué)測(cè)量?jī)x器，可完成集成?電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測(cè)，用于室溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測(cè)試。