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第1章 電路基礎(chǔ)理論
1．1 內(nèi)容提要
1．2 引言
1．3 基本電路回顧
1．3．1 同性相斥，異性相吸
1．3．2 基本單位
1．3．3 串聯(lián)公式
1．3．4 并聯(lián)公式
1．3．5 歐姆定律
1．3．6 基爾霍夫定律
1．3．7 電路單元符號(hào)
1．4 導(dǎo)體、絕緣體和半導(dǎo)體
1．5 半導(dǎo)體材料
1．5．1 N型材料
1．5．2 P型材料
1．6 PN結(jié)
1．6．1 勢(shì)壘
1．6．2 通過(guò)勢(shì)壘的電流
1．6．3 二極管
1．6．4 二極管應(yīng)用
1．7 半導(dǎo)體開關(guān)
1．7．1 一個(gè)燈開關(guān)的例子*
1．8 場(chǎng)效應(yīng)
1．8．1 場(chǎng)效應(yīng)晶體管*
1．9 開關(guān)隔離
1．10 增強(qiáng)型器件和耗盡型器件
1．11 互補(bǔ)型開關(guān)
1．12 N阱和襯底接觸
1．13 邏輯電路
1．13．1 用電壓表示邏輯狀態(tài)
1．13．2 CMOS邏輯電路
1．13．3 與非門
1．13．4 或非門
結(jié)束語(yǔ)
本章學(xué)過(guò)的內(nèi)容
應(yīng)用練習(xí)

第2章硅加工工藝
2．1 內(nèi)容提要
2．2 引言
2．3 集成電路版圖
2．3．1 基本矩形
2．4 硅晶圓制造
2．5 摻雜
2．5．1 離子注入
2．5．2 擴(kuò)散
2．6 生長(zhǎng)材料層
2．6．1 外延
2．6．2 化學(xué)氣相沉積
2．6．3 氧化層生長(zhǎng)
2．6．4 濺射
2．6．5 蒸發(fā)
2．7 去除材料層
2．8 光刻
2．9 芯片制造
2．9．1 下凹圖形的加工
2．9．2 凸起圖形的加工
2．9．3 平坦化
2．9．4 作為掩模的二氧化硅
2．10 自對(duì)準(zhǔn)硅柵
……
第3章 CMOS版圖
第4章 電阻
第5章 電容
第6章 雙極型晶體管
第7章 二極管
第8章 電感
術(shù)語(yǔ)

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前言/序言

　　集成電路版圖是電路系統(tǒng)與集成電路工藝之間的中間環(huán)節(jié)，是一個(gè)必不可少的重要環(huán)節(jié)。通過(guò)集成電路版圖設(shè)計(jì)，可以將立體的電路系統(tǒng)變?yōu)橐粋€(gè)二維的平面圖形，再經(jīng)過(guò)工藝加工還原為基于硅材料的立體結(jié)構(gòu)。因此，版圖設(shè)計(jì)是一個(gè)上承電路系統(tǒng)、下接集成電路芯片制造的中間橋梁，其重要性可見一斑。
　　隨著微電子技術(shù)的突飛猛進(jìn)，新技術(shù)、新工藝、新材料不斷涌現(xiàn)，設(shè)計(jì)方法、設(shè)計(jì)手段、設(shè)計(jì)理念不斷更新，版圖設(shè)計(jì)已從單純的圖形設(shè)計(jì)發(fā)展為需要綜合考慮各方面因素的、復(fù)雜的設(shè)計(jì)問題。一個(gè)優(yōu)秀的版圖設(shè)計(jì)工程師不僅需要了解版圖設(shè)計(jì)的技術(shù)、技巧，還應(yīng)該對(duì)相關(guān)的電路系統(tǒng)問題、工藝問題以及一些重要的物理效應(yīng)有深刻的理解。
　　但是，集成電路版圖設(shè)計(jì)也確實(shí)是令設(shè)計(jì)者們感到困惑的一個(gè)環(huán)節(jié)，我們常常感到版圖設(shè)計(jì)似乎沒有什么“規(guī)矩”，設(shè)計(jì)的經(jīng)驗(yàn)性往往掩蓋了設(shè)計(jì)的科學(xué)性。即使是有多年版圖設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)的人有時(shí)也“說(shuō)不清”為什么要這樣或那樣設(shè)計(jì)。在多年的科研與教學(xué)實(shí)踐中，我們感到版圖設(shè)計(jì)方面的問題是最令學(xué)生感到無(wú)所適從的問題之一。
　　長(zhǎng)期以來(lái)，關(guān)于集成電路版圖設(shè)計(jì)的知識(shí)大部分是作為集成電路原理或VLSI設(shè)計(jì)書籍中的一些章節(jié)，專門介紹版圖設(shè)計(jì)知識(shí)的文獻(xiàn)資料非常缺少。清華大學(xué)出版社引進(jìn)并組織翻譯有關(guān)版圖設(shè)計(jì)的書籍，為集成電路版圖設(shè)計(jì)者提供了非常好的學(xué)習(xí)與參考資料。雖然工作非常繁忙，我們?nèi)越酉铝朔g任務(wù)，希望本書能夠成為微電子行業(yè)的從業(yè)者學(xué)習(xí)與了解版圖設(shè)計(jì)基礎(chǔ)的實(shí)用資料。