應(yīng)用在真空度為10-5Pa環(huán)境下的硅片機(jī)器人被稱為真空機(jī)器人。這種機(jī)器人在設(shè)計(jì)時(shí)即要滿足凈化環(huán)境的要求，同時(shí)也要考慮真空條件的要求，如脫氣、散熱等。

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真空機(jī)器人是一種在真空環(huán)境下工作的機(jī)器人，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中，實(shí)現(xiàn)晶圓在真空腔室內(nèi)的傳輸。真空機(jī)械手難進(jìn)口、受限制、用量大、通用性強(qiáng)，其成為制約了半導(dǎo)體裝備整機(jī)的研發(fā)進(jìn)度和整機(jī)產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵部件。

直驅(qū)型真空機(jī)器人關(guān)鍵技術(shù)

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真空機(jī)器人自1987年問(wèn)世以來(lái)，得到了國(guó)外很多公司的注目與研究，至今已形成一系列技術(shù)成熟的產(chǎn)品，如Daihen公司的SPR-311系列、JEL公司的STVHR4000系列，美國(guó)Broos公司的MagnaTran7系列等。

主要真空機(jī)器人企業(yè)及產(chǎn)品

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據(jù)統(tǒng)計(jì)2021年我國(guó)機(jī)器人市場(chǎng)規(guī)模為836.6億元，其中工業(yè)機(jī)器人市場(chǎng)規(guī)模為444.9億元，特種機(jī)器人市場(chǎng)規(guī)模為90.4億元，服務(wù)機(jī)器人市場(chǎng)規(guī)模為301.3億元。

2017-2021年中國(guó)機(jī)器人及細(xì)分品類市場(chǎng)規(guī)模

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目前，真空機(jī)器人主要應(yīng)用在集束型設(shè)備中，通過(guò)軌跡規(guī)劃完成對(duì)硅片的定位和傳輸。目前，應(yīng)用在國(guó)內(nèi)硅片生產(chǎn)線上的自動(dòng)傳輸系統(tǒng)幾乎全部從國(guó)外進(jìn)口，而且國(guó)內(nèi)的硅片加工設(shè)備在技術(shù)水平、穩(wěn)定性、可靠性和自動(dòng)化程度上與國(guó)際水平都有很大差距。我國(guó)硅片傳輸機(jī)器人的研究起步較晚，現(xiàn)階段大都還處于研發(fā)過(guò)程，沒(méi)有形成系列產(chǎn)品，目前只有沈陽(yáng)新松機(jī)器人公司、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、大連理工大學(xué)等少數(shù)單位開展了硅片傳輸機(jī)器人相關(guān)研究。

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更多本行業(yè)詳細(xì)的研究分析見(jiàn)共研網(wǎng)《2023-2029年中國(guó)真空機(jī)器人市場(chǎng)全景調(diào)查與戰(zhàn)略咨詢報(bào)告》，同時(shí)共研產(chǎn)業(yè)研究院還提供產(chǎn)業(yè)數(shù)據(jù)、產(chǎn)業(yè)研究、政策研究、產(chǎn)業(yè)鏈咨詢、產(chǎn)業(yè)圖譜、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、可行性分析、商業(yè)計(jì)劃書、IPO咨詢等產(chǎn)品和解決方案。

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