微納尺度器件檢測 / 光場 + 相位 / 紫外到近紅外寬波段

MetronLens 是一套用于原位測量超構(gòu)表面 (超表面)、超構(gòu)透鏡 (超透鏡)、微透鏡陣列等新型微納器件的三維光場分布和相位分布的光學(xué)檢測系統(tǒng)，采用了寬波段色差校正、消像差等光學(xué)設(shè)計(jì)，在 μm 尺度實(shí)現(xiàn)了紫外-近紅外透反射測試，并提供了焦距、波相差、澤尼克像差、點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)、調(diào)制傳遞函數(shù)、斯特列爾比、數(shù)值孔徑等關(guān)鍵性能指標(biāo)的分析。

典型應(yīng)用領(lǐng)域：

? ? ? ?超構(gòu)表面——掃描微米尺度下的復(fù)雜光場，定量、可視化地表征微納器件在空間上的光場調(diào)控能力。

? ? ? ?超構(gòu)透鏡——檢測光場分布、相位分布、波相差、波前畸變和相關(guān)性能指標(biāo)，有助于優(yōu)化超構(gòu)透鏡的設(shè)計(jì)和加工工藝，促進(jìn)超構(gòu)透鏡產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

? ? ? ?微透鏡陣列——測量微米級(jí)口徑微透鏡及微透鏡陣列的光場和相位分布，可實(shí)現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性、高UPH的快速檢測。

MetronLens 超構(gòu)透鏡光學(xué)檢測系統(tǒng) 在以上領(lǐng)域的應(yīng)用得益于如下幾個(gè)創(chuàng)新點(diǎn)：

? ? ? ?1? 功能豐富：MetronLens 是一套為超構(gòu)透鏡、超構(gòu)表面等微納器件量身設(shè)計(jì)的綜合檢測系統(tǒng)，提供了焦距、成像分辨率 (含角向分辨率)、波相差、澤尼克像差、斯特列爾率、數(shù)值孔徑、點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù) (PSF)、調(diào)制傳輸函數(shù) (MTF)、3D光場分布等 10+ 項(xiàng)主流光學(xué)檢測中衡量器件光學(xué)性質(zhì)的關(guān)鍵測量指標(biāo)；

? ? ? ?2? 微米級(jí)采樣區(qū)域：基于 Olympus 顯微平臺(tái)，配合消除像差的準(zhǔn)直及成像光路，實(shí)現(xiàn)了 μm 量級(jí)超構(gòu)表面器件的光場檢測；

? ? ? ?3? 反射 + 透射模式：MetronLens 支持透射和反射兩種模式，能夠輕松實(shí)現(xiàn) 0~22 mm 行程的光場掃描；

? ? ? ?4? 寬波段/多光源：支持 400~1700 nm 的寬譜段數(shù)據(jù)采集，紫外-可見/近紅外譜段之間可以高穩(wěn)定快速自動(dòng)切換；支持空間光輸入和光纖輸入，可同時(shí)外接多臺(tái)激光光源；

? ? ? ?5? 操作簡便：MetronLens 配套的軟件集成了實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制、快速切換、數(shù)據(jù)呈現(xiàn)、數(shù)據(jù)導(dǎo)出、數(shù)據(jù)分析和處理、二次開發(fā)等功能；

? ? ? ?6? 可擴(kuò)展性強(qiáng)：結(jié)合豐富的偏振器件，可實(shí)現(xiàn)任意偏振態(tài)的激發(fā)和檢測，以及更多定制化的擴(kuò)展功能，例如傳輸相位樣品和幾何相位樣品的檢測。