PI的E-712控制器負責實際控制，控制定位器，ZYGO 7702并獲取內部傳感器信號。此外，控制器通過BiSS或SPI接口從干涉儀獲得位置信號?？梢栽贓-712.1AN控制器中決定是內部傳感器信號還是干涉儀信號用于伺服閉環(huán)。僅通過內部傳感器進行參考。也可以使用干涉儀信號作為伺服回路之外的上級位置反饋。然而，以下不對此進行更詳細的討論。

內部傳感器和干涉儀的位置信號產生的噪聲如圖3所示，無控制和靜止?！癲_max”的指定值是測量信號的峰值。在干涉儀的情況下，可以看出，與內部傳感器相比，位置噪聲20更小，這基本上允許更高的精度。

在閉合伺服回路中使用內部傳感器進行測量的結果如圖1所示。紅色信號顯示內部傳感器信號設置為5nm的步長剛好低于噪聲帶。另一方面，在干涉儀信號的情況下，步驟是清晰可辨。此外，位置控制的不精確性也清晰可見分辨率限制。