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電容值相對(duì)變化量為
如果只考慮式(5 - 24)中的線性項(xiàng)和三次項(xiàng), 則電容式傳感器的相對(duì)非線性誤差δ近似為
比較式(5 - 15)與式(5 - 25)及式(5 - 18)與式(5 - 26)可見, 電容傳感器做成差動(dòng)式之后, 靈敏度提高一倍, 而且非線性誤差大大降低了.
5.3 電容式傳感器的測量電路
 電容式傳感器中電容值以及電容變化值都十分微小, 這樣微小的電容量還不能直接為目前的顯示儀表所顯示, 也很難為記錄儀所接受, 不便于傳輸.這就必須借助于測量電路檢出這一微小電容增量, 并將其轉(zhuǎn)換成與其成單值函數(shù)關(guān)系的電壓,電流或者頻率.電容轉(zhuǎn)換電路有調(diào)頻電路,運(yùn)算放大器式電路,二極管雙T型交流電橋,脈沖寬度調(diào)制電路等.?