真空計( Vacuum Gauge )，又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用

經(jīng)常有同學詢問真空計原理，這里為大家做個系統(tǒng)的解釋，按照不同的真空計分類，詳細說明每種真空計的工作原理

皮拉尼真空計原理

利用電熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系的原理，給燈絲通過恒流源供電加熱，由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發(fā)生變化( 恒溫)引起電橋( 惠斯通)電陽變化，根據(jù)電阻變化測算出氣壓

熱陰極電離規(guī)真空計原理高溫燈絲發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子氣體分子的一一個或多個電子被撞擊出去，形成帶正電的離子，帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出，離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系。

冷陰極電離規(guī)真空計原理冷陰極電離規(guī)也稱為潘寧規(guī)，和熱陰極電離規(guī)類似，仍是通過電離e氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子

真空計的量程范圍在較高壓力時(10 ~1Pa) 利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等在10~10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)( 熱傳導，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。

在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。