螺桿式真空泵是上世紀 90 年代出現(xiàn)的一種比較理想的干泵，其結構緊湊，抽速大，真空度高，可直排大氣，工作部件無摩擦，壽命長。

由于泵腔內(nèi)無油、無水，不存在油蒸汽排放和廢液處理問題，因而是本世紀環(huán)保首選產(chǎn)品。

螺桿真空泵的工作原理如圖 1 所示，它是由一對同步齒輪帶動一對逆向旋轉的螺桿保持一定間隙而實現(xiàn)非接觸的嚙合，為了減少泄漏，要求螺桿的加工精度很高。

這種泵可以處理含一定量的液體和含有微小顆粒的工藝氣體，因而非常適用于半導體、太陽能薄膜、化工、制藥等應用領域。

采用溶媒結晶工藝的原料藥，通常在結晶后進行過濾、洗滌和真空干燥。物料中含濕通常在20%~200%，濕物料所含溶媒通常是易燃、易爆、有毒、有害的介質，它們在干燥過程中被真空機組抽走。

傳統(tǒng)的濕式真空系統(tǒng)普遍選用羅茨液環(huán)真空泵機組，液環(huán)泵的密封液在運行中會溶解或吸收部分有機溶媒，在汽液分離器中分離廢氣和高濃度的有機廢液，這兩部分都需要處理，這不僅不能充分回收這部分溶媒，而且使企業(yè)運行成本增加，更對健康安全和環(huán)保帶來挑戰(zhàn)。

而應用干式真空冷凝系統(tǒng)，可以使干燥過程中的有機溶媒在排氣側冷凝，實現(xiàn)溶劑的回收，以及廢水廢液的零排放。

由于螺桿泵泵腔內(nèi)無任何其他工藝介質，內(nèi)部表面均采取涂層的防腐措施，既節(jié)能又環(huán)保，無廢液處理問題，溶媒還可以全部回收。所以螺桿真空泵已成為這一應用領域的最佳選擇。

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