一、機(jī)械泵

機(jī)械泵由電機(jī)和泵體兩大部分組成。普通型機(jī)械泵由電機(jī)通過皮帶帶動泵軸旋轉(zhuǎn)；直連型機(jī)械泵是電機(jī)直接與泵軸連接，無中間傳動環(huán)節(jié)。

機(jī)械泵是利用氣體膨脹、壓縮、排出的原理，把氣體從容器里抽出的。之所以稱之為機(jī)械泵，是因為它是利用機(jī)械的方法，周期性地改變泵內(nèi)吸氣腔的容積，使容器中的氣體不斷地通過泵的進(jìn)氣口膨脹到吸氣腔中，然后通過壓縮經(jīng)排氣口排出泵外。

改變泵內(nèi)吸氣腔容積的方式有活塞往復(fù)式、定片式和旋片式，分別稱為往復(fù)式機(jī)械泵、定片式機(jī)械泵和旋片式機(jī)械泵。

由于實際應(yīng)用中，旋片式機(jī)械泵使用較多，現(xiàn)以旋片式機(jī)械泵為例說明其工作原理。

工作原理?

旋片機(jī)械泵的結(jié)構(gòu)如圖一所示，主要由圓柱空腔定子、偏心轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧、頂蓋和排氣閥等零件組成。偏心轉(zhuǎn)子的頂端始終保持與泵體定子內(nèi)腔接觸，當(dāng)偏心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，始終沿定子的內(nèi)壁滑動。

轉(zhuǎn)子上開有兩個滑槽，分別安裝一個旋片，中間有一個彈簧，當(dāng)旋片隨轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，借助彈簧張力和離心力，使兩旋片緊貼在定子內(nèi)壁滑動。整個空腔放在油箱內(nèi)。

兩個旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三個部分，分別叫做吸氣腔、壓縮腔和排氣腔。當(dāng)轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時，與進(jìn)氣口相通的空間A的容積不斷地增大，A空間的壓強(qiáng)不斷地降低，當(dāng)A空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng)，根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理，被抽的

氣體不斷地被抽進(jìn)吸氣腔A，此時壓縮腔B空間的容積正逐漸減小，氣體壓力不斷地增大，同時與排氣口相通的排氣腔C的容積進(jìn)一步地減小，排氣腔C的空間壓強(qiáng)進(jìn)一步地升高，當(dāng)氣體的壓強(qiáng)大于排氣壓強(qiáng)時，被壓縮的氣體推開排氣閥，穿過油箱內(nèi)的油層而排至大氣中。

在泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)過程中，不斷地進(jìn)行著吸氣、壓縮、排氣過程，從而達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。顯然轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速愈快，則泵的抽速愈大。

機(jī)械泵的轉(zhuǎn)速一般在450~1400r/min之間，因為轉(zhuǎn)速太高，密封極為困難。排氣閥浸在油里，以防止大氣流人泵中。

為保證吸氣腔和排氣腔之間不漏氣，除保證緊密接觸之外，還采用蒸氣壓力較低且有一定薪度的專用機(jī)械泵油，并使油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進(jìn)人泵腔，使泵腔內(nèi)所有運動的表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔的密封。

此外機(jī)械泵油還起著潤滑和幫助在氣體壓強(qiáng)較低時打開排氣閥門的作用。同時機(jī)械泵油還可充滿了一切有害空間，以消除它們對極限真空的影響。

上面討論的機(jī)械泵只有一個轉(zhuǎn)子，稱為單級旋片式真空泵，它所能達(dá)到的極限壓強(qiáng)為1Pa。

為提高極限壓強(qiáng)，通常采用雙級泵結(jié)構(gòu)，即將兩個單級泵串聯(lián)起來，可使極限壓強(qiáng)達(dá)到 圖片 Pa數(shù)量級。

特點

成本低廉、經(jīng)濟(jì)耐用

工作范圍：大氣~低真空

極限真空：10-3 torr (0.1Pa)

缺點：返油、振動

使用與維護(hù)

更換機(jī)械泵油

清潔抽氣入口處濾網(wǎng)

維護(hù)油過濾器濾芯

二、羅茨泵

羅茨真空泵（簡稱：羅茨泵）是指泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的葉形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細(xì)小間隙而互不接觸的一種變?nèi)菡婵毡谩?br>

羅茨真空泵在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。

同時也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消音器，用于真空泵的噪聲治理。

工作原理?

羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。靠泵腔內(nèi)一對葉形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來移動氣體而實現(xiàn)抽氣的真空泵。

羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。

它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似，工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤滑。

轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。

羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450～4100轉(zhuǎn)/分；抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：單級為6.5×10-2帕，雙級為1×10-3帕。

羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。

為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。

由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。?

但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。

當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。

在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。

結(jié)構(gòu)組成?

羅茨真空泵的兩個轉(zhuǎn)子在泵體中如何布置，決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。國內(nèi)外羅茨真空泵的總體結(jié)構(gòu)布置一般有三種方案：

1.立式：兩個轉(zhuǎn)子的軸線呈水平安裝，但兩個轉(zhuǎn)子軸線構(gòu)成的平面與水平面垂直，這種結(jié)構(gòu)，泵的進(jìn)排氣口呈水平設(shè)置，裝配和連接管道都比較方便。

但其缺點是泵的重心太高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，所以除小規(guī)格的泵外，采用這種結(jié)構(gòu)型式的不太多。

2.臥式：兩個轉(zhuǎn)子的軸線呈水平安裝，兩個轉(zhuǎn)子軸線構(gòu)成的平面成水平方向，這種結(jié)構(gòu)的泵的進(jìn)氣口在泵的上方，排氣口在泵的下方（也有與此相反的）。

下邊的排氣口一般為水平方向接出，所以進(jìn)排氣方向是相互垂直的。排氣口接一個三通管向兩個方向開口，一端接排氣管道，另一端死或接旁通閥時使用。

這種結(jié)構(gòu)的特點是重心低，高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。國內(nèi)外大中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)型式。

3.豎軸式：國外有的羅茨泵的兩個轉(zhuǎn)子軸線與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)的裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，占地面積小，但齒輪等傳動機(jī)構(gòu)裝拆不便，潤滑裝置也較復(fù)雜。

當(dāng)總體結(jié)構(gòu)決定后，泵體本身的結(jié)構(gòu)與形狀也就相應(yīng)地決定了。

4.帶溢流閥的羅茨泵：為了防止超載引起事故，羅茨泵上裝有一個比較可靠的安全保護(hù)器，即在旁通管路上裝有一個溢流閥。排氣口處于規(guī)定壓力時，溢流閥是關(guān)閉的。

當(dāng)其排氣口壓力超過規(guī)定壓力時，則溢流閥的閥門自動被頂開而產(chǎn)生溢漢，排氣口壓力變正常后，溢流閥再自行關(guān)閉。

它能自動調(diào)節(jié)，也是泵的允許壓差裝置，因此溢流閥的最大好處是使羅茨泵能連同前級泵一起，在各種壓力范圍內(nèi)能連續(xù)運轉(zhuǎn)。

采用這種設(shè)計，能使真空容器在粗真空狀態(tài)的抽氣停息時間可縮短30~50%。

對于比較大的泵，溢流閥安裝在泵體外邊的旁通管路上，在比較小的泵上，溢流閥則是裝在泵殼內(nèi)的。

5.帶蒸汽冷凝器的羅茨泵：在需要抽吸蒸汽情況下，抽氣機(jī)組必須設(shè)計會使蒸汽冷凝的冷凝器，這個冷凝器可裝在泵之前或裝在泵之后，而不裝在羅茨泵的泵體上。

在某種情況下，冷凝特升化吸熱能夠減少羅茨泵發(fā)熱。假設(shè)采用了復(fù)式冷凝器，在維修時可用適當(dāng)?shù)娜軇┣宄酃?，蒸汽就能順暢地在?dǎo)管中流動。當(dāng)達(dá)到極限真空時，通過泵入口的正向氣流量為零，既泵的實際抽速為零，式：

PC和PR事實就是前級泵和羅茨真空泵的極限壓力，達(dá)到極限真空是幾乎為分子流狀態(tài)，將其導(dǎo)通能力帶入式中：

理論抽速

P0—羅茨真空泵的極限壓力

P0φ—前級真空泵的極限壓力

11.6F —20℃時空氣的導(dǎo)通能力

因此選擇不同的前級泵可以獲得不同的極限真空

冷卻裝置

1.空氣冷卻：羅茨真空泵由于輸送和壓縮氣體而產(chǎn)生熱量，這些熱量必須從轉(zhuǎn)子傳至殼體而散發(fā)。

但在低壓下，氣體對熱的傳導(dǎo)和對流性能極差，致使轉(zhuǎn)子吸收的熱量不易散出，造成轉(zhuǎn)子溫度永遠(yuǎn)高于殼體的溫度。

由于轉(zhuǎn)子的熱膨脹，使轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼間的間隙減少，特別在壓差也高的情況下，尤為嚴(yán)重，甚至造成轉(zhuǎn)子卡死，使泵損壞。

為了使羅茨泵在較高的壓差下工作，以擴(kuò)大使用范圍，增加泵的可靠性，就必須設(shè)法散出轉(zhuǎn)子產(chǎn)生的熱量，也就是說要對轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻。

為了理解空氣冷卻的實質(zhì)，先來看一下氣體在羅茨真空泵排氣一側(cè)的流動情況，在羅茨真空泵中吸入氣體被壓縮的過程不是連續(xù)的，而是突然的。

吸入氣體隨轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動而被封閉于腔內(nèi)，又隨轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，使腔內(nèi)的氣體突然與排氣口接通。

由于排氣一側(cè)的氣體壓力較高，排氣口處的氣體就向腔中返沖，然后又隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而被驅(qū)趕排出泵外。

這樣的過程在每旋轉(zhuǎn)一周中兩個轉(zhuǎn)子共進(jìn)行四次排氣過程。

從上述氣體的流動情況可以設(shè)想：假若每次返沖到泵腔中的氣體是冷的，則可以在高溫的泵腔內(nèi)吸收大量的熱量，這些吸收了熱量的氣體又在轉(zhuǎn)子的繼續(xù)壓縮中排出，從而會達(dá)到轉(zhuǎn)子冷卻的目的。

空氣冷卻就是運用上述原理。在泵的排氣口處設(shè)置密集的冷卻片，冷卻片用冷水管進(jìn)行冷卻，或在泵的排氣口處直接安裝冷卻水管，這樣排氣口處的氣體就會降溫，這種冷卻方法能有效地散出羅茨泵轉(zhuǎn)子在壓縮氣體中所產(chǎn)生的執(zhí)量。而且當(dāng)排氣壓力較高時，因氣體分子的密度大，使熱傳導(dǎo)性能更好，其冷卻效果也好些。

使用這種方法能保證泵在較高的壓差下作，實驗證明，一臺羅茨泵在30Torr壓差下運轉(zhuǎn)6h,其轉(zhuǎn)子在外殼的溫度差為22度，當(dāng)在排氣口處安裝冷卻器后，在85Torr壓差下長其運轉(zhuǎn)，其溫差也不超過17度。

一般說來，羅茨真空泵采用空氣冷卻之后，可將壓差提高80Torr，而不加冷卻器一般只能達(dá)到15~30Torr。

這種冷卻方法與環(huán)境溫度有關(guān)系，環(huán)境溫度高吸入的氣體溫度就高。則冷卻效果就不好。此外，這種方法只能避免高壓差產(chǎn)生的高熱，而不能防止泵壓縮過程中發(fā)熱，而引起間隙變小的問題，所以受泵本身間隙的限制。

2.轉(zhuǎn)子的內(nèi)部冷卻：為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉(zhuǎn)子用循環(huán)油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經(jīng)轉(zhuǎn)子內(nèi)壁再從另一端排出。冷卻油除冷卻轉(zhuǎn)子外，還潤滑齒輪和軸承。

這種冷卻效果較好，泵在運轉(zhuǎn)時轉(zhuǎn)子溫度低于外殼溫度，大泵常采用這種方式。

例如在80Torr壓差下工作時，羅茨真空泵轉(zhuǎn)子溫度較外殼低78度，同時還發(fā)現(xiàn)泵負(fù)荷越重時，則間隙越大，這是因為轉(zhuǎn)子用油冷卻，溫度比殼體低，負(fù)荷越大，殼體膨脹越厲害，軸間距加大，所以間隙會增大。

由于負(fù)荷大，轉(zhuǎn)子和殼體溫差不斷增高，使間隙不斷增大，這會使首逆流增大，引起羅茨真空泵抽速下降。

為了克服這個缺點，羅茨泵在高負(fù)荷下工作時，需要采用有效措施，一般是將羅茨真空泵的外殼和轉(zhuǎn)子同時采用油循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行冷卻。

3.轉(zhuǎn)子的油膜冷卻：這種冷卻方法是在羅茨真空泵入口處連接一個輸油管，用均勻滴下的冷卻油帶走轉(zhuǎn)子的熱量。

油經(jīng)過濾器器、冷卻器，通過密封良好的油泵，再經(jīng)過辦輸油管將油送到泵的入口。油滴到轉(zhuǎn)子上之后，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而均面在轉(zhuǎn)了子的表面上。

這不僅將轉(zhuǎn)子的熱量帶走，同時在兩個轉(zhuǎn)子表面上形成油膜，防止氣體的逆流，而且還能將轉(zhuǎn)子表面上依附的微細(xì)塵埃帶走。

在泵的出口處設(shè)有油槽，收集廢油，經(jīng)過過濾，冷卻后重新循環(huán)使用。

此種方法效果良好。但由于泵內(nèi)有油，失去了羅茨泵無油蒸汽污染真空系統(tǒng)的特點。

再則油具有一定的粘度，對高速旋轉(zhuǎn)的羅茨泵轉(zhuǎn)子增加了不少的摩擦力，當(dāng)然使泵的功率消耗增加。所使用的油，要求飽和蒸汽壓應(yīng)盡量低。

4.水冷卻：所謂濕式羅茨真空泵，即是由間級或雙級泵吸入的空氣經(jīng)壓縮后，通過綜合吸收及有相位差的組合消音器傳送。將微量的水注入泵內(nèi)，便能消除因壓縮空氣而產(chǎn)生的熱量。

吸入水管裝在單級或雙級泵組的吸氣端并連接到真空泵的進(jìn)氣口上。

水是靠真空泵產(chǎn)生的真空度而吸入，真空度越大，吸入水量就越高。

用一只簡單的調(diào)節(jié)閥門便能保證最佳的吸入量，吸入水的溫度應(yīng)保持在20度左右，要清潔，無鈣質(zhì)。

結(jié)構(gòu)特點?

1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；

2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。

轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；

4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在國內(nèi)外得到較快的發(fā)展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。

性能特點

羅茨真空泵的特點是：啟動快，耗功少，運轉(zhuǎn)維護(hù)費用低，抽速大、效率高，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感，在100～1帕壓力范圍內(nèi)有較大抽氣速率，能迅速排除突然放出的氣體。這個壓力范圍恰好處于油封式機(jī)械真空泵與擴(kuò)散泵之間。

因此，它常被串聯(lián)在擴(kuò)散泵與油封式機(jī)械真空泵之間，用來提高中間壓力范圍的抽氣量。這時它又稱為機(jī)械增壓泵。

羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制，以及化工、食品、醫(yī)藥工業(yè)中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面。真空泵配件為用于真空泵噪聲治理的，真空泵消音器。

保養(yǎng)方法

（一）羅茨真空泵定期檢查：

1.每日檢查：

a）油位檢查：油量過多，使溫度升高，油量過少，造成潤滑不良。

b）溫度檢查：用溫度計檢查泵各部位溫度。

c）電動機(jī)負(fù)荷檢查：用功率表或電流，電壓表測量電動機(jī)負(fù)荷。

2.羅茨真空泵每月檢查：

聯(lián)軸器及墊片是否損壞和松動。

3.羅茨真空泵每3個月檢查：

齒輪箱內(nèi)潤滑油是否變質(zhì)。

4.羅茨真空泵每6個月檢查：

a）前蓋軸承箱內(nèi)潤滑油是否變質(zhì)。

b）活塞環(huán)及活塞環(huán)襯套是否磨損。

c）齒輪微量程度的磨損對轉(zhuǎn)子正常運轉(zhuǎn)是否產(chǎn)生影響，是否需要調(diào)整。

（二）羅茨真空泵拆裝：

增壓泵進(jìn)行拆卸和重新裝配時，須根據(jù)以下注意事項進(jìn)行：

1、羅茨真空泵未拆卸前，先測量并記錄轉(zhuǎn)子各部分間隙。

2、盡量避免用重錘敲打，拆下的零件不得碰傷，妥善保管好。

3、將需要更換的零部件的更換原因及使用情況詳細(xì)記錄下來。

4、羅茨真空泵重新裝配前須把各零部件清潔干凈，毛刺修光。

5、無密封墊襯或密封圈的靜密封面用“106”有機(jī)硅橡膠涂料。用干凈密封的橡膠密封件，需涂上真空考克脂。帶溢流閥真空泵溢流閥上的密封圈及平面上不得涂任柯油脂。

6、根據(jù)間隙一覽表調(diào)整轉(zhuǎn)子各部分間隙。

7、全部裝好后須進(jìn)行檢漏。

8、重裝后須進(jìn)行試運轉(zhuǎn)和必要的性能測試，待正常后才能安裝使用。

注意事項

羅茨泵工作原理性能特點羅茨泵實質(zhì)上與凸輪泵相同，但轉(zhuǎn)子是羅茨型的。它能輸送黏度為數(shù)萬厘泊的液體。

羅茨泵主要是有兩個旋轉(zhuǎn)方向相反的轉(zhuǎn)子位于泵體中，由一對同步齒輪傳動，對于羅茨泵的轉(zhuǎn)子，在泵體內(nèi)是互相嚙合的，但具有間隙。

間隙大小主要取決于液體黏度。超過一定黏度范圍必須調(diào)整增大間隙。

1.羅茨泵經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求，以羅茨泵運轉(zhuǎn)時，油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。

2.羅茨泵換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新羅茨泵抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次，待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當(dāng)延長換油期限。

3.羅茨泵經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時更換新油，確保羅茨泵工作正常。

4.羅茨泵一般情況下，羅茨泵工作2000小時后應(yīng)進(jìn)行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物，清洗整個羅茨泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗并烘干，對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。

5.羅茨泵向軸承體內(nèi)加入軸承潤滑機(jī)油，觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處，潤滑油應(yīng)及時更換或補充。

6.羅茨泵檢查羅茨泵管路及結(jié)合處有無松動現(xiàn)象，用手轉(zhuǎn)動羅茨泵，試看羅茨泵是否靈活。

7.羅茨泵重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運行，一般須空運轉(zhuǎn)2小時并換油二次，因清洗時在羅茨泵中會留有一定量易揮發(fā)物，待運轉(zhuǎn)正常后，再投入正常工作。

8.羅茨泵開動電機(jī)，當(dāng)羅茨泵正常運轉(zhuǎn)后，打開出口壓力表和進(jìn)口羅茨泵，視其顯示出適當(dāng)壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機(jī)負(fù)荷情況。

9.羅茨泵盡量控制羅茨泵的流量和揚程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi)，以保證羅茨泵在最高效率點運轉(zhuǎn)，才能獲得最大的節(jié)能效果。

三、分子泵

分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。

常見的分子泵

1)牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動量；被驅(qū)送到泵的出口。

2)渦輪分子泵：靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

3)復(fù)合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。

工作條件

1）轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達(dá)到20000r/min，故分子泵啟動時間較長。

2）氣體處于分子流狀態(tài)，故需要配備前級泵，一般使用旋片泵作為前級泵。

結(jié)構(gòu)特點

復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi) ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。

法國 Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜壓軸承和動密封的復(fù)合分子泵，可以做到完全無油，且不用前級泵直接向大氣中排氣。

分類

復(fù)合式分子泵的形式很多，按結(jié)構(gòu)分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。

渦輪級主要用來提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級數(shù)在10級以內(nèi)。牽引級主要用來增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

盤式牽引級是在平板圓盤平面上按一定規(guī)律開出數(shù)條型線溝槽，然后將數(shù)塊圓盤串接起來構(gòu)成，型線有阿基米德螺線、對數(shù)螺線、圓弧線等。

抽氣時靠高速轉(zhuǎn)動的圓盤對氣體分子進(jìn)行“拖動”，使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向流動，從而達(dá)到抽氣目的。

筒式牽引級是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。

由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進(jìn)行動量傳遞，提高泵的抽氣效果。

在設(shè)計制造中，可以通過改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來達(dá)到較理想的抽氣效果。

設(shè)計要點

在復(fù)合分子泵的設(shè)計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。

由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運動在聯(lián)接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。

因此，在設(shè)計時應(yīng)在渦輪級和牽引級轉(zhuǎn)換處加上過渡級結(jié)構(gòu)，以提高泵的抽氣性能。

隨著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn)，其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時間，并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。

四、擴(kuò)散泵?

擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，通常指油擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵是一種次級泵，它需要機(jī)械泵作為前級泵。

工作原理

擴(kuò)散泵中的油在加熱到沸騰溫度（約為200度）后產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管從各級噴嘴定向高速噴出。

由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng)，被抽氣體的分子便不斷擴(kuò)散到高速定向蒸氣流中，隨著蒸氣流帶走。

氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。

經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多級壓縮，最后由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。

組成結(jié)構(gòu)

油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)示意圖

高真空泵擴(kuò)散泵主要結(jié)構(gòu)有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導(dǎo)流管、加熱器和冷卻器等。

性能參數(shù)

通常擴(kuò)散泵的性能是以極限真空、最大反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?/p>

1.極限真空

如果對一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴(kuò)散泵性能大大改善，極限真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng)。

油擴(kuò)散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa，起始壓力正好是機(jī)械泵的極限壓力，因此，油擴(kuò)散泵通常要利用機(jī)械泵作為前級泵，將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。

2.最大反壓強(qiáng)

最大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓強(qiáng)最大值。如果前級泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于最大反壓強(qiáng)，則擴(kuò)散泵就不能正常工作。

3.抽氣速率

擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運動理論來推算出來。

4.設(shè)置冷阱及低溫?fù)醢宓脑?/strong>

由于擴(kuò)散泵噴嘴噴出來的油蒸氣分子，大部分由泵壁冷凝，這是因為泵壁外設(shè)置冷卻水套或冷卻管道的緣故。

但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射，散射會返回被抽空間，這種現(xiàn)象在低溫實驗室中要特別注意。

如在擴(kuò)散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫?fù)醢?，這樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來，截止了油蒸氣的返流。

影響油擴(kuò)散泵性能的因素如下：

1.油擴(kuò)散泵的返流。

2.氣體分子的反擴(kuò)散。

3.擴(kuò)散泵油的裂化分解，一般擴(kuò)散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)（室溫下0.00000001Pa左右），受熱穩(wěn)定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點的液體，如硅油是擴(kuò)散泵中比較理想的工作油。

4.泵清洗不干凈，污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)，影響其真空度。

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