掃描電子顯微鏡，常見問題及解答

1， 不導(dǎo)電或?qū)щ姴畹臉悠?，為什么要噴金?/span>

SEM成像，是通過檢測器獲得二次電子和背散射電子的信號。如樣品不導(dǎo)電或?qū)щ娦圆缓茫瑫斐蓸悠繁砻娑嘤嚯娮踊蛴坞x粒子的累積不能及時(shí)導(dǎo)走，一定程度后就反復(fù)出現(xiàn)充電放電現(xiàn)象，最終影響電子信號的傳遞，造成圖像扭曲，變形，晃動等現(xiàn)象，噴金后樣品表面導(dǎo)電增強(qiáng)，從而避免積電現(xiàn)象。

2， 噴金后，對樣品形貌是否有影響？

樣品表面噴金后，只是在其表面覆蓋幾個(gè)到十幾個(gè)金原子層，厚度只有幾個(gè)納米到十幾個(gè)納米而已，對于看形貌來說，幾乎是沒有什么影響的。

3， 掃描電鏡能譜點(diǎn)掃，線掃和mapping之間的區(qū)別？

能譜點(diǎn)掃，線掃和mapping分別是在點(diǎn)范圍，線范圍，和面范圍內(nèi)獲得樣品的元素半定量信息，除此之外，線掃和mapping還能分析元素在線或面范圍內(nèi)的分布情況。

它們的意義在于點(diǎn)掃可以測試材料某一位置的元素種類和含量，面掃（mapping）的意義主要在于了解材料元素的區(qū)域分布，線掃的意義在于了解材料一條線上各個(gè)點(diǎn)的元素含量的變化。

4， 掃描電鏡和透射電鏡的向似和區(qū)別？

制樣上：二者對樣品共同要求：固體，盡量干燥，盡量沒有油污染，外形尺寸符合樣品室大小要求。

區(qū)別是：TEM：電子的穿透能力很弱，透射電鏡往往使用幾百千伏的高能量電子束，但依然需要把樣品磨制或者離子減薄或者超薄切片到微納米量級厚度，這是基本要求。

SEM：幾乎不要制樣，直接觀察。大多數(shù)非導(dǎo)體需要制作導(dǎo)電膜（例如噴金），絕大多數(shù)幾分鐘的搞定，含水的生物樣品需要固定脫水干燥。

成像上：SEM的成像時(shí)電子束不穿透樣品而是掃描樣品表面，TEM成像時(shí)電子束穿透樣品，SEM的空間分辨率一般在XY-3-6nm，TEM空間分辨率一般可以達(dá)到0.1-0.5nm。

? ? ? ?如果需要了解更多SEM關(guān)內(nèi)容，可以聯(lián)系鑠思百檢測！(www.sousepad.com)鑠思百檢測作為華中地區(qū)領(lǐng)先的第三方權(quán)威機(jī)構(gòu)，與武漢眾多高校及其分析測試中心有交流合作。包括SEM在內(nèi)，XPS測試，BET測試，EPR等測試都有豐富的經(jīng)驗(yàn)，歡迎聯(lián)系送樣測試！