在講解調(diào)整熱電偶前，先了解一下什么是熱電偶。熱電偶（Thermocouple）是一種溫度傳感器，由兩條不同金屬導(dǎo)線燒結(jié)接成接頭組成。熱電偶的工作原理基于熱電效應(yīng)，即當(dāng)兩個(gè)不同金屬的接觸點(diǎn)處于不同溫度時(shí)，會(huì)產(chǎn)生一個(gè)電勢差（電動(dòng)勢）。通過測量這個(gè)電勢差，可以推算出溫度變化。因具有快速響應(yīng)、較高的可靠性、耐高溫和抗干擾等特點(diǎn)，所以熱電偶被廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，包括工業(yè)過程控制、熱處理、實(shí)驗(yàn)室測試、能源領(lǐng)域等。? ? ? ? ? ? ? ? ?

為什么需要去調(diào)整熱電偶的形狀與位置？我們以瑞樂半導(dǎo)體快速退火爐為例，熱電偶燒結(jié)點(diǎn)與待測的碳化硅載盤在接觸時(shí)可以準(zhǔn)確測量出載盤的溫度，加以算法控制，使得爐體內(nèi)溫度重現(xiàn)性與控溫精確性達(dá)到一個(gè)業(yè)內(nèi)較高的一個(gè)水準(zhǔn)。如果熱電偶與碳化硅載盤之間離開1mm，又會(huì)發(fā)生什么？這種情況會(huì)導(dǎo)致測量到的電勢差與實(shí)際值相比之下變得減低，算法計(jì)算出溫度不足需要調(diào)整加熱功率，導(dǎo)致載盤上實(shí)際溫度與測量溫度出現(xiàn)偏差，導(dǎo)致工藝出現(xiàn)問題。

在了解什么是熱電偶、為什么調(diào)整熱電偶后，我們就可以開始調(diào)整熱電偶，調(diào)整過程中我們要記住這句話：測量段外不觸碰，測量段內(nèi)只碰點(diǎn)。以瑞樂半導(dǎo)體快速退火爐為例，該退火爐使用的是K型熱電偶，并且熱電偶除去測量段外都包裹在不銹鋼外殼上。碳化硅載盤放在石英支架上，所以在石英支架底部的熱電偶就需要調(diào)整形狀來接觸到碳化硅載盤，調(diào)整過程中會(huì)發(fā)現(xiàn)熱電偶的外殼觸碰到了石英支架，這是錯(cuò)誤的。我們需要熱電偶外殼離開石英支架，調(diào)整后需要注意：測量段是只有燒結(jié)點(diǎn)接觸到碳化硅載盤還是一段都接觸到載盤。這是我們接下來要說的第二點(diǎn)：測量段的調(diào)整。測量段兩根熱電偶線如果是貼在一起，則測量離外殼最近端，調(diào)整完畢后燒結(jié)點(diǎn)觸碰碳化硅載盤底部，此時(shí)才調(diào)整完畢。

既然熱電偶使用接觸式測量方法，為什么不在碳化硅載盤中挖孔藏入熱電偶？在碳化硅載盤中藏入熱電偶有以下幾個(gè)問題：

1.在藏入的過程中，兩根熱電偶線會(huì)互相觸碰到，導(dǎo)致測溫點(diǎn)并不在燒結(jié)點(diǎn)上，雖然碳化硅載盤熱均勻性較好，但測量溫度始終會(huì)有偏差。

2.更換載盤麻煩。有一些客戶需求中，有多種尺寸的樣品需要退火，更換載盤過程麻煩，需要重新抽出熱電偶線，久而久之熱電偶與其表面的涂層會(huì)掉落或者斷開。

如果載盤做出多種尺寸都合適的情況下，不增加厚度容易受熱不均勻?qū)е录訜徇^程中碎盤，加厚則降溫速率降低，改變載盤材料則成本提高，因此瑞樂半導(dǎo)體快速退火爐使用了方便快捷的接觸式測溫。