在做原子力顯微鏡AFM測試時，科學(xué)指南針檢測平臺工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)對AFM測試不太了解，針對此，科學(xué)指南針檢測平臺團(tuán)隊組織相關(guān)同事對網(wǎng)上海量知識進(jìn)行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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將一個對微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一個微小的針尖，其尖端原子與樣品表面原子間存在及極微弱的排斥力，利用光學(xué)檢測法或隧道電流檢測法，通過測量針尖與樣品表面原子間的作用力獲得樣品表面形貌的三維信息。

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圖1AFM工作原理示意圖

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下面，我們以激光檢測原子力顯微鏡/AFM（AtomicForceMicroscopeEmployingLaserBeamDeflectionforForceDetection,Laser-AFM）——掃描探針顯微鏡家族中最常用的一種為例，來詳細(xì)說明其工作原理。如圖1所示，二極管激光器發(fā)出的激光束經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)聚焦在微懸臂背面，并從微懸臂背面反射到由光電二極管構(gòu)成的光斑位置檢測器上。在樣品掃描時，由于樣品表面的原子與微懸臂探針尖端的原子間的相互作用力，微懸臂將隨樣品表面形貌而彎曲起伏，反射光束也將隨之偏移，因而，通過光電二極管檢測光斑位置的變化，就能獲得被測樣品表面形貌的信息。

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