來自第11屆中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會半導(dǎo)體設(shè)備年會暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇開幕式上的消息：據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會對國內(nèi)77家規(guī)模以上半導(dǎo)體設(shè)備制造商統(tǒng)計，2022年中國本土半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入累計完成593億元，與2021年的386億元相比，增長了53.6%。其中，前10家設(shè)備制造商完成銷售收入438億元。

上述數(shù)據(jù)是中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會理事長、北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司董事長趙晉榮先生向活動致開幕辭時透露的。第11屆中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會半導(dǎo)體設(shè)備年會暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇于今天上午在無錫正式開幕。大會舉行了簡短的開幕式，行業(yè)內(nèi)外近千人參加了開幕式。

趙晉榮理事長在致辭中強調(diào)指出，在日益復(fù)雜的國際形勢下，中國本土設(shè)備業(yè)取得了突破性的進步。目前，我國半導(dǎo)體設(shè)備及零部件企業(yè)的數(shù)量已經(jīng)超過200家。近年來，本土設(shè)備企業(yè)抓住有利機遇，著力發(fā)展自身技術(shù)，多家龍頭骨干裝備企業(yè)，在刻蝕、薄膜、清洗、等離子注入、CMP及封裝測試等關(guān)鍵設(shè)備方面都取得了突破，并進一步向系列化、多品類、平臺型企業(yè)轉(zhuǎn)型，取得了可喜的成績。同時，國內(nèi)從事材料和零部件的龍頭企業(yè)也呈現(xiàn)出快速增長的趨勢。在射頻電源、流量計、機械手、真空泵、重點檢測以及精密加工、精密陶瓷、高純石墨、高純板材，各種不銹鋼及精細化工材料等方面都取得了突破性的進展。

趙晉榮理事長在致辭的最后呼吁，面對當前復(fù)雜多變的國際形勢，中國產(chǎn)業(yè)界必須堅定信心，勇于創(chuàng)新，堅持合作共贏的理念和格局，共同開創(chuàng)中國半導(dǎo)體行業(yè)的美好未來！

在趙繼榮理事長的簡短致辭后，受大會邀請，華潤微電子有限公司執(zhí)行董事、總裁李虹博士和中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯博士先后登臺，分別發(fā)表了題為《創(chuàng)“芯”引領(lǐng)? 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展新格局》、《集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的現(xiàn)狀和挑戰(zhàn)，人類第三次工業(yè)革命的到來》的主旨演講。

李虹博士針對中國半導(dǎo)體先進制程受限特別指出，在半導(dǎo)體市場中，在超越摩爾定律的部分，中國有蓬勃發(fā)展的新能源、汽車電子、工業(yè)控制、航空航天等產(chǎn)業(yè)，特別是近兩年來中國的新能源以及汽車電子領(lǐng)先全球，這些中國整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進一步發(fā)展的重要依托，也是未來半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的重要機會。

尹志堯博士則在演講中強調(diào)，中國有句古話叫“工欲善其事，必先利其器”，如果不能做出高精尖的半導(dǎo)體設(shè)備，就做不出先進的芯片，沒有芯片也就沒有再上一層的各式各樣的產(chǎn)品，以及產(chǎn)品之上的各種應(yīng)用。因而，近年來，美國對中國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)起“限制”，最主要的動作還是聚焦打擊中國獲得先進的半導(dǎo)體制造設(shè)備。

曾在美國半導(dǎo)體行業(yè)工作近二十年的尹志堯博士回顧說，半導(dǎo)體設(shè)備，除了光刻機以外，大部分是在美國開始開發(fā)后來成功的。中國上世紀七八十年代赴美的一些留學生在這些開發(fā)中，有的擔綱了領(lǐng)銜開發(fā)的角色，有的則是作為主要的技術(shù)骨干參與其中。尹志堯博士用一頁PPT顯示，中國赴美留學生參與開發(fā)的設(shè)備有：CCP等離子刻蝕機、ICP等離子刻蝕機、PECVD設(shè)備、LPCVD設(shè)備、ALD設(shè)備、CMP設(shè)備、ECP設(shè)備、光學檢測設(shè)備、電子束檢測設(shè)備、MOCVD等。

由上，尹志堯博士指出，現(xiàn)在美國政府想用設(shè)備來卡我們中國，第一個是完全沒有道理，第二個也是沒有任何好的結(jié)果，因為大部分參與這些設(shè)備研發(fā)的領(lǐng)軍的當年的中國留學生都已經(jīng)回到中國，他們中的很多人現(xiàn)在是中國本土設(shè)備企業(yè)的骨干和領(lǐng)導(dǎo)，所以，我們有充分的信心，假以時日，中國一定會發(fā)展出有國際競爭力的設(shè)備產(chǎn)業(yè)。