納濾膜技術在芯片所需超純水制備工藝中的應用
在電子行業(yè)蓬勃發(fā)展的今天,我們的生活離不開電子產(chǎn)品,這樣也就加大了人們對于電子產(chǎn)品的需求量,也使得芯片產(chǎn)業(yè)需求開始膨脹。那么,在芯片產(chǎn)出中所需的超純水,又是如何制備的呢?今天我們就來一起了解一下。
這種超純水一般是指經(jīng)過凈化后的水,電阻率達到18.25 MΩ*cm以上的水。這種水中除了氫氧離子外,幾乎不含任何物質,非常適用于芯片生產(chǎn)清洗用水。
制備超純水的工藝主要以樹脂法結合膜法工藝進行處理,前段軟化能夠將水中鈣鎂等硬度離子以及水中的其他高價金屬離子進行交換去除,可保證軟化出水指標中,鈣離子的含量小于0.2ppm。
去除硬度離子主要采用的便是膜法技術,這種膜法去除硬度效果佳,主要是以納濾膜分鹽為基礎。在水中有各類陰陽離子存在,納濾膜元件本身的分離特性可以很好的區(qū)分低價鹽和高價鹽,在納濾分離后產(chǎn)液中的水質硬度離子去除率可達75-85%,滿足后續(xù)處理需求,有效提高超純水品質。膜法除硬實現(xiàn)了再生劑的“零添加”,大大降低了高氯廢水的排放量。
納濾膜法除硬,還具有自動化程度高、運行維護成本低、產(chǎn)水穩(wěn)定等優(yōu)勢。并且應用納濾膜法除硬,膜濃水電導率提升不大,可以直接排放,無需進行額外處理。
我們不難看出,納濾膜在超純水制備工藝中主要功效為去除硬度,并且去除效果顯著,優(yōu)勢良多。
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編輯:柒柒 技術:星星