半導體無塵室選用真空潤滑脂
最近幾年我國信息產業(yè)得到驚人的發(fā)展,半導體、液晶制造行業(yè)的軸承、滾珠絲杠、直線導軌的使用量急劇增加。在這些產品的制造設備中滾珠絲杠和軸承在運轉時潤滑脂會出現飛濺,如附著到晶體片產品上的話,就是使產品失去價值,因此需要開發(fā)新型清潔用潤滑脂的要求越來越強烈?,F在不僅僅在真空環(huán)境,常壓環(huán)境下使用的半導體、液晶顯示器制造設備的滾珠絲杠和軸承大多都使用蒸發(fā)量少的耐真空全氟素系潤滑脂。但是,一般的氟素系潤滑脂都使用粘度較高的基礎油,并且?guī)缀醪慌浜戏冷P劑使用。從而導致并不能適用于大多數高速運轉的軸承及絲桿和導軌使用。特別用于無塵技術的需求。這表明無塵室潤滑脂不僅具有摩擦學特性而且滿足無塵技術的特殊需求,如顆粒的數量和大小。為了改善這些問題,比瑟奴開發(fā)了低產塵量、耐磨損,耐蝕性俱佳,且兼?zhèn)涞湍Σ亮氐南盗袧櫥?。該產品是專門為半導體微電子和潔凈室應用設計的,對金屬元素和其他污染物敏感。比瑟奴?C.GREASE-700高清潔度無塵室潤滑脂不使用包含鋰,鉬,鈣,鋁,鋇,鋅或鈉作為標準元素的成分。 這些元素通常存在于其他潤滑脂中,并且含量較高。
因此比瑟奴無塵室潤滑脂根據以上兩點進行分類。
無塵特性
微粒發(fā)散行為和微粒大小分布結果在標準環(huán)境下確定。一種半導體檢測設備的晶片定位部件作為測試標準。工業(yè)中的許多產品(如微電子和光學工業(yè))對于顆粒污染變得越來越敏感。為了降低顆粒污染,這就意味著需要高無塵等級的產品。在生產過程中生產環(huán)境的清潔只有通過生產設備,產生和釋放盡可能少的顆粒物來保證。設計和操作的設備根據無塵室適合性的需求來滿足這個要求。
因為典型的設備需要被潤滑如發(fā)動機,發(fā)動機傳輸部件或軸承,合適的無塵室潤滑劑的選擇變得尤為重要。
以下你可以發(fā)現適宜無塵室潤滑劑的重要標準:
- 很大的降低潤滑部件的磨損
- 較小的顆粒發(fā)散和滴漏傾向
- 微小的氣體污染或揮發(fā)
- 抗老化(UV)
- 高抵抗?jié)櫥考牧虾铜h(huán)境介質
- 很少數量的外來顆粒
來自滾動軸承的發(fā)塵量
附有非接觸式橡膠密封圈的小型軸承695W(內徑5mm、外徑13mm、寬度4mm)在3600rpm下運轉的潤滑脂產塵量。與市售潤滑脂相比,比瑟奴顯示出良好的低產塵量。在市售的潤滑脂中,酸性油-鋰基潤滑脂B產塵量格外多,礦物油鋰基潤滑脂A,合成聚脲基EA2潤滑脂產塵量逐漸減少。氟素系潤滑脂隨著品牌名稱的不同而具有較大差異(市售C、D潤滑脂)。因為聚脲系潤滑脂在市售潤滑脂中產塵量相對較少,針對上述EA2潤滑脂與尿素系潤滑脂構造不同的酸性尿素系潤滑脂G進行了試探性評價。同樣在相同的軸承,5400rpm下運轉250小時,聚脲系潤滑脂G在運轉初期與比瑟奴潤滑脂顯示出相同的產塵量,但再經過一段時間的運轉后產塵量急劇增大。