在做 X 射線光電子能譜(XPS)測試時，科學(xué)指南針檢測平臺工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)僅僅是通過文獻或者師兄師姐的推薦對XPS測試有了解，但是對于其測試儀器還屬于小白階段，針對此，科學(xué)指南針檢測平臺團隊組織相關(guān)同事對網(wǎng)上海量知識進行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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常見儀器

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1 Thermo ESCALAB 250XI

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對于ESCALAB 250Xi小面積電子能譜儀的展示如圖1， ESCALAB 250Xi裝有單色化X射線源，雙晶體即微聚焦單色器安在500 mm的羅蘭圓上，采用Al陽極，可選擇200 μm 至 900 μm間任意大小的束斑。微聚焦單色器的優(yōu)勢如下：

（1）小面積XPS測量不損失能譜儀的靈敏度，可節(jié)省分析時間；

（2） 只有樣品的被分析部分被X射線輻照，因此遠離樣品的區(qū)域避遭損傷；

（3）在角分辨XPS測量時，入射X射線束斑始終在分析區(qū)域內(nèi)。

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圖1 Thermo ESCALAB 250XI儀器圖

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2 PHI5000 VersaProbeIII

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PHI 5000 VersaprobeIII (VP-III) 設(shè)備展示如圖2，能提供高性能的微區(qū)光譜，化學(xué)成像，二次電子成像，其小的X射線束光柵掃描直徑約為10微米。X射線束的大小可以輕易的使用電腦控制在直徑10微米到400微米設(shè)定，從而達到好的空間解釋度與高的靈敏度。

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PHI 5000 VersaprobeIII主要特征和功能：微聚焦的掃描X射線束可應(yīng)對從微區(qū)到大面積的分析需求；高可靠全自動分析能力，可實現(xiàn)無人值守式隊列分析；微區(qū)成像和圖譜采集，可同時高效對多個微區(qū)進行對比分析；濺射深度剖析，可分析膜層結(jié)構(gòu)和成分深度變化；多種技術(shù)聯(lián)用的超高真空分析腔室，可擴展UPS、IPES、AES、C60、GCIB等多種技術(shù)。

圖2 PHI5000 Versa Probe III儀器圖

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3 Thermo Fisher Scientific K-Alpha

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Thermo Fisher Scientific K-Alpha的設(shè)備展示如圖3，其主要特征和功能：AlKαX射線 單色器可用于化學(xué)態(tài)高分辨分析；微聚焦X射線探針可用于絕緣材料的分析；先進的光學(xué)觀察系統(tǒng)可用于對中樣品上微小結(jié)構(gòu)和污染點分析位置；聚焦深度剖析離子源可用于單層和多層膜分析；一鍵式中和系統(tǒng)可用于精確的小面積分析；128通道探測器用于快速并行快照式采集數(shù)據(jù)。

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圖3 Thermo Fisher Scientific K-Alpha儀器圖

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