吉時(shí)利Keithley 4200-scs參數(shù)分析儀
產(chǎn)品詳情:
半導(dǎo)體材料和器件的研發(fā)—傳統(tǒng)的半導(dǎo)體和微電子專業(yè)
器件和工藝的參數(shù)監(jiān)控—半導(dǎo)體工藝線,生產(chǎn)
器件的建模(Modeling)—半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì),集成電路的設(shè)計(jì)
可靠性和壽命測(cè)試—半導(dǎo)體器件可靠性研究
高功率MOSFET,BJT和III-V族器件(GaN,GaAs)的特性分析
納米器件研究;
光電子器件的研究(LED,OLED等);
非易揮發(fā)性存儲(chǔ)器測(cè)試—Flash閃存,相變存儲(chǔ)器(PRAM),鐵電存儲(chǔ)器(FeRAM),阻變存儲(chǔ)器(RRAM)等;
有機(jī)半導(dǎo)體特性分析
太陽(yáng)能電池及光伏電池特性分析確定樣品的電阻率和Hall載流子濃度
氧化層厚度、柵面積、串聯(lián)電阻、平帶電容、電壓、開(kāi)啟電壓、體摻雜、有效氧化層電荷密度、

可動(dòng)電荷、金屬-半導(dǎo)體功函數(shù)、德拜長(zhǎng)度、體電勢(shì)等。
標(biāo)準(zhǔn)C-V掃描:普通MOSFET,二極管和電容器;
MOScap:測(cè)量MOS電容器上的C-V,提取參數(shù)包括氧化層電容,氧化層厚度,摻雜濃度,耗盡深度,
德拜長(zhǎng)度,平帶電容,平帶電壓,體電勢(shì),閾值電壓,金屬半導(dǎo)體功函數(shù),有效氧化層電荷;
MOSFET:對(duì)一個(gè)MOSFET器件進(jìn)行一個(gè)C-V掃描。提取參數(shù)包括:氧化層厚度,氧化層電容,平帶電容,
平帶電壓,閾值電壓,摻雜濃度與耗盡深度的函數(shù)關(guān)系;壽命:確定產(chǎn)生速度并進(jìn)行壽命測(cè)試(Zerbst圖);
可動(dòng)離子:使用BTS方法確定并提取平帶電壓參數(shù)確定可動(dòng)電荷。包括對(duì)Hot Chuck熱吸盤(pán)的控制。
在室溫下測(cè)試樣品,然后加熱后測(cè)試,然后再恢復(fù)至室溫下以確定平帶漂移電壓,從而確定可動(dòng)電荷;
電容:在金屬-絕緣-金屬(MIM)電容器上進(jìn)行C-V掃描和C-f掃描,并計(jì)算出標(biāo)準(zhǔn)偏差;
PN結(jié):測(cè)量P-N結(jié)或肖特及二極管的電容與其尖端片置電壓的函數(shù)關(guān)系;
光伏電池:測(cè)量一個(gè)發(fā)光太陽(yáng)電池的正向和反向DC特性,提取參數(shù),最大功率,最大電流,最大電壓,短路電流,開(kāi)路電壓,效率。同時(shí)執(zhí)行C-V和C-f掃描特性;
BJT:在端-端之間測(cè)量電容(OV偏置情況下),Cbe,Cbc,Cec;接線電容:測(cè)量晶圓上小的互相接線之間的電容;

納米線:在兩端的納米線器件上進(jìn)行C-V掃描;閃存:在一個(gè)典型的柵極懸浮閃存器件上進(jìn)行C-V測(cè)量。
碳納米管、生物芯片/器件、碳納米管FET、納米線、分子線、分子晶體管、多管腳納米格
超快I-V的源和測(cè)量在很多技術(shù)領(lǐng)域變得越來(lái)越重要,包括化合物半導(dǎo)體,中功率器件,
中功率器件,非易揮發(fā)性存儲(chǔ)器,MEMS(微機(jī)電器件),納米器件,太陽(yáng)電池和CMOS器件。

脈沖I-V對(duì)器件進(jìn)行特性分析可以實(shí)現(xiàn)用傳統(tǒng)DC方法無(wú)法實(shí)現(xiàn)的任務(wù),比如,
對(duì)納米器件的自熱效應(yīng)的克服,對(duì)于高K柵極電介質(zhì)器件中因電荷陷阱效應(yīng)而導(dǎo)致的磁滯效應(yīng)般的電流漂移。
瞬態(tài)I-V測(cè)試使得科研人員來(lái)獲取高速的電流或電壓波形。脈沖信號(hào)源可用于器件可靠性中的應(yīng)力測(cè)試,
或者以多階梯脈沖模式對(duì)存儲(chǔ)器件的擦、寫(xiě)操作通用的脈沖I-V器件測(cè)試
CMOS器件特性分析:電荷泵,自熱效應(yīng),電荷陷阱,NBTI/PBTI分析
非易揮發(fā)性存儲(chǔ)器:閃存,相變存儲(chǔ)器
化合物半導(dǎo)體器件和材料:LED等納米器件和MEMS等?