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如何用光刻機(jī)雕刻芯片?

2022-11-17 09:44 作者:罌粟綻放的花  | 我要投稿

芯片內(nèi)部集成線路就如同毛細(xì)血管一樣很細(xì)小,肉眼根本無法看清楚,更談不上在肉眼都無法辨識情況下用肉眼在顯微鏡下設(shè)計(jì)這樣微小的線路圖,而是采用兩種方法:縮放投影技術(shù)和數(shù)據(jù)縮放技術(shù),縮放投影技術(shù)與數(shù)字縮放技術(shù)是不同層面毫不相干的兩個技術(shù)。


1、投影縮放技術(shù):先把正常大小線路圖設(shè)計(jì)好,線路圖必須嚴(yán)格按照像素點(diǎn)設(shè)計(jì)繪圖,必須做到不能遺漏一個像素點(diǎn),再用投影機(jī)將正常大小線路圖縮小投影在微型芯片線路板上,用光刻機(jī)進(jìn)行光刻,印刷線路圖精確度非??量?,線路圖中每一個像素點(diǎn)都不能遺漏,它就如同印刷廠出來的大幅彩色油畫,或者手機(jī)照相攝影像素,手機(jī)像素越高,照片視頻畫面也就越清晰,對于光刻技術(shù)而言,正常大小線路圖像素越高,經(jīng)過縮小投放微小芯片上光刻出來的芯片質(zhì)量就越是精細(xì),所謂的精細(xì),說白了,也就是不能遺漏一個像素點(diǎn),把正常線路圖縮小到納米級光刻在極其微小芯片上。


2、數(shù)據(jù)縮放技術(shù):數(shù)據(jù)化光刻程序在正常大小線路圖期間就以像素點(diǎn)形式被提前輸入電腦操作程序之中,先把正常大小線路圖設(shè)計(jì)好,線路圖必須嚴(yán)格按照像素點(diǎn)嚴(yán)謹(jǐn)高度設(shè)計(jì)繪圖,做到不遺漏一個像素點(diǎn),也不多出一個像素點(diǎn),再將像素點(diǎn)按數(shù)學(xué)倍數(shù)縮小數(shù)字比例,以縮小倍數(shù)的數(shù)據(jù)化程序輸入電腦,它就如同二維碼一樣的數(shù)據(jù)程序,電腦就是按照提前繪制設(shè)計(jì)好的正常大小線路圖(原圖),經(jīng)過按比例縮小數(shù)據(jù)化操作程序輸入電腦操作程序,以電腦操作程序操控光刻機(jī)在微小芯片上進(jìn)行光刻。


破譯芯片線路操作程序正相反,先將數(shù)字芯片按尸體切片解剖方式進(jìn)行打磨切削,將所有經(jīng)過切削獲得的數(shù)據(jù)輸入電腦進(jìn)行電腦分析形成類似于二維碼一樣的圖片,這個圖片就是芯片線路圖原圖,它會存在很多像素點(diǎn)遺漏,需要人工或者電腦智能修補(bǔ)成為與原圖別無二致的完整線路圖,如果有多個芯片,獲得芯片線路圖原圖可靠性更高,道理很簡單,對多個相同芯片進(jìn)行解析,就可以獲得多個存在不同瑕疵缺陷的草圖,將幾個草圖數(shù)據(jù)化合并,就可以獲得完完整整的線路板原圖,這個原理,就是生物兩性交配遺傳基因缺陷互補(bǔ)原理


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