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光影無限,納飛光電皮秒激光器助力LED照明

2023-03-08 16:37 作者:納飛曉峰  | 我要投稿

藍(lán)寶石化學(xué)成份主要是氧化鋁,其獨(dú)特的晶格結(jié)構(gòu),使之具有優(yōu)良的光學(xué)性能、物理化學(xué)性能、優(yōu)異的力學(xué)性能和良好的熱學(xué)性能,是LED照明、大規(guī)模集成電路SOI和SOS以及超導(dǎo)納米結(jié)構(gòu)薄膜的理想襯底材料,此外還因其耐磨耐劃和透光性好等特點(diǎn),被用于消費(fèi)電子產(chǎn)品的屏幕面板和攝像頭保護(hù)蓋板等。

LED襯底是藍(lán)寶石行業(yè)最大的下游應(yīng)用領(lǐng)域,有數(shù)據(jù)顯示,LED襯底在藍(lán)寶石行業(yè)下游消費(fèi)中的占比高達(dá)80%。通常情況下,在LED燈的生產(chǎn)制程中,GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍(lán)寶石襯底上。

當(dāng)前,制約藍(lán)寶石大面積量產(chǎn)主要有以下幾點(diǎn)原因:藍(lán)寶石的特性一是脆性,LED燈具襯底制作中往往需要對它進(jìn)行減薄和切割(從400微米減到100微米左右),加工時易碎易崩邊;二是硬度高,在自然界中莫氏硬度僅次于金剛石,切割難度大;三是為降低生產(chǎn)成本而提升藍(lán)寶石切割尺寸增加工藝難度,以6英寸和2英寸藍(lán)寶石晶圓為例,其表面積相差9倍,可制作芯片數(shù)量相差11倍,可見大表面積的襯底材料將有力降低原材料成本。

對于上述的微米級高精度、大面積切割工藝要求,顯然傳統(tǒng)刀具切割不能滿足要求,其優(yōu)越的物理化學(xué)性質(zhì),化學(xué)刻蝕也很難達(dá)到加工要求。目前在工業(yè)生產(chǎn)中,藍(lán)寶石和玻璃一樣,尤其適合使用超短脈沖激光進(jìn)行非直接接觸加工,比如納飛光電生產(chǎn)的工業(yè)級皮秒激光器,操作簡單,加工速度快,切口質(zhì)量好,同一批次加工一致性高,還可以對任意形狀進(jìn)行切割。

納飛光電工業(yè)級皮秒激光器光束質(zhì)量M2<1.3,光斑圓度≥85%,光束發(fā)散角(全角)≤1mrad,這些參數(shù)保證了該系列激光器輸出高品質(zhì)激光,有助于實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的加工要求。由于激光器發(fā)出的激光脈寬短,僅為10ps左右,超快的作用時間使得藍(lán)寶石內(nèi)部的晶格來不及響應(yīng),激光就將能量傳遞給電子,然后高溫的電子在溫度梯度作用下,將熱量單向傳遞給低溫的晶格,晶格加熱時間短,因此材料溫度低,熱應(yīng)力小,實(shí)現(xiàn)對藍(lán)寶石材料的高精度“冷加工”。此外,經(jīng)過作業(yè)平臺集成后,通過調(diào)整優(yōu)化切割速度,角度等相關(guān)工藝參數(shù),確定最佳組合,帶來藍(lán)寶石的切割面無坡度,邊緣光滑,無掛渣,無毛刺。

在穩(wěn)定性方面,納飛光電從軟硬件多方面調(diào)校,使之在穩(wěn)定性上表現(xiàn)非常兩眼,根據(jù)測試,其脈沖穩(wěn)定性和功率穩(wěn)定性均小于1%RMS,穩(wěn)定性的優(yōu)越表現(xiàn)保障了性能的穩(wěn)定,是實(shí)現(xiàn)7*24小時穩(wěn)定輸出的前提,進(jìn)而提高了工件良品率,以及加工效率,同時降低了成本。

2021年下半年多地電能緊缺,拉閘限電或是錯峰用電時有發(fā)生,帶有節(jié)能、環(huán)保屬性的LED燈具將更有廣闊的市場,加之在相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策的推動下,有利于進(jìn)一步帶動藍(lán)寶石材料的需求。納飛光電工業(yè)級皮秒激光器高效地解決了藍(lán)寶石切割難度大和LED燈具對芯片做小和切割道做窄的要求,將大大提升工廠生產(chǎn)效率,有助于以藍(lán)寶石為襯底的LED燈具實(shí)現(xiàn)大規(guī)模化生產(chǎn)。


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