邊緣檢測是圖像處理和計算機(jī)視覺中的一項基本任務(wù)，旨在識別圖像中物體的邊界。它擁有包括物體識別、物體跟蹤和圖像分割等在內(nèi)的廣泛應(yīng)用。就拿近年大熱增長的半導(dǎo)體行業(yè)來說，就有非常多的環(huán)節(jié)需要進(jìn)行依靠邊緣檢測來確保半導(dǎo)體設(shè)備的可靠性和性能。比如晶圓制造，因為硅晶圓需要通過一系列復(fù)雜的工藝生產(chǎn)，包括晶體生長、切片、拋光和清潔，而在這些階段，晶圓邊緣可能出現(xiàn)劃痕、裂紋或污染等缺陷，導(dǎo)致潛在的設(shè)備故障或產(chǎn)量下降。為了解決這個問題，制造商就需要利用先進(jìn)的檢測系統(tǒng)準(zhǔn)確地檢測和分類晶圓邊緣的缺陷。其他如光刻、蝕刻、封裝和組裝階段同樣如此。

英國真尚有ZM106系列邊緣傳感器就是低成本邊緣檢測的首選。它基于先進(jìn)的“陰影”原理，由控制器和測量探頭兩個部分組成，其中測量探頭包含發(fā)射器和接收器兩個模塊。一個控制器可配2組測量探頭，輕松進(jìn)行兩個位置的邊緣測量。

英國真尚有ZM106系列邊緣傳感器專為非接觸測量和監(jiān)控各種物體（如膠帶、板、基板等）的邊緣位置而研發(fā)，擁有±20um高精度、1um重復(fù)性、7mm測量范圍的高性能。而且，ZM106系列邊緣傳感器的測量探頭小巧輕便，發(fā)射器和接收器之間距離可高達(dá)30mm，安裝非常簡單。不單如此，控制器還支持直接數(shù)顯，無需額外數(shù)顯設(shè)備。

簡而言之，英國真尚有ZM106系列邊緣傳感器提供了一個簡單易用、低門檻、低成本的邊緣檢測方案。

當(dāng)然，除了英國真尚有ZM106這類低成本邊緣傳感器外，還有很多其他的傳感器用于不同的行業(yè)的邊緣檢測。最常用的傳感器之一是相機(jī)，上文提到過的晶元邊緣檢測使用的就是高分辨率相機(jī)。它通過比較圖像中相鄰像素的強(qiáng)度來檢測邊緣。使用攝像傳感器的好處是它可以捕捉到廣泛的物體和表面。然而，相機(jī)會受到照明條件的影響，在低光環(huán)境下其準(zhǔn)確性可能會下降。其次使用激光三角反射法原理的線激光傳感器、激光光幕測微儀等等光學(xué)傳感器也是邊緣檢測的重要工具。