射頻電源是可以產(chǎn)生固定頻率的正弦波、具有一定頻率的高頻電源,主要由射頻信號(hào)源、射頻功率放大器及阻抗匹配器組成,是等離子體配套電源。射頻功率放大器被認(rèn)為是射頻電源的核心,因此射頻功率放大器是制約射頻電源發(fā)展的關(guān)鍵因素。射頻電源由20世紀(jì)80年代的電子管射頻電源發(fā)展到現(xiàn)在的晶體管射頻電源,經(jīng)歷了漫長的發(fā)展過程。功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦，頻率有2、4、13.56、27.12、40.68MHz、60MHz等不同范圍。目前射頻電源被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備、LED與太陽能光伏行業(yè)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)中的等離子體發(fā)生、射頻感應(yīng)加熱、醫(yī)療美容及常壓等離子體消毒清洗等領(lǐng)域。

射頻電源根據(jù)采用的功率放大器類型不同,可分為電子管射頻電源與晶體管射頻電源(又稱為全固態(tài)射頻電源)。射頻功率放大器的發(fā)展較為緩慢,直到1904年電子管的出現(xiàn),才開始被正式應(yīng)用于各領(lǐng)域口,這是因?yàn)殡娮庸軓母旧辖鉀Q了射頻功率放大器的器件問題。但是電子管本身存在很多問題:首先它的體積非常大,在某些精密領(lǐng)域限制了電子管射頻電源的應(yīng)用;其次電子管射頻電源的壽命還不到晶體管射頻電源的一半,最重要的是它的制造工藝非常復(fù)雜,因此隨著晶體管的發(fā)展,電子管逐漸被淘汰。同電子管相比,晶體管射頻電源的體積要小很多,同時(shí)它的損耗低,壽命長,產(chǎn)生很少的熱量。

目前我國先進(jìn)的等離子體設(shè)備使用的射頻電源,與國外同類電源相比還存在一定差距,要超趕上國際水平,還需要做很多工作:1)目前我國的射頻電源采用大多是電子管或電子管、晶體管混合電路,體積較大,限制了它的應(yīng)用。并且使用的晶體管大多為國外進(jìn)口,因此,需要研制我國自主核心的晶體管,研制新技術(shù)、新元器件,使射頻電源小型化2)目前我國使用的還是阻抗手動(dòng)匹配器,容易受環(huán)境因素的影響,而國外已開始使用阻抗自動(dòng)匹配器,在工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用,因此,高精度、高速度的阻抗自動(dòng)匹配器是未來發(fā)展的必然趨勢。3)與國外射頻電源相比,我國射頻電源種類較為單一,今后還應(yīng)該進(jìn)行寬頻帶電源、微波電源、高功率射頻電源等不同類型射頻電源的研制。

受新冠肺炎疫情等影響，QYResearch調(diào)研顯示，2021年全球射頻電源市場規(guī)模大約為6.42億美元，預(yù)計(jì)2028年將達(dá)到13.38億美元，2022-2028期間年復(fù)合增長率（CAGR）為10.74%。未來幾年，本行業(yè)具有很大不確定性，本文的2022-2028年的預(yù)測數(shù)據(jù)是基于過去幾年的歷史發(fā)展、行業(yè)專家觀點(diǎn)、以及本文分析師觀點(diǎn)，綜合給出的預(yù)測。

2021年中國（含臺(tái)灣）占全球市場份額為13.31%，美國為34.24%，預(yù)計(jì)未來六年中國市場復(fù)合增長率為10.87%，并在2028年規(guī)模達(dá)到1.73億美元，同期美國市場CAGR預(yù)計(jì)大約為11.47%。未來幾年，亞太地區(qū)的重要市場地位將更加凸顯，除中國外，日本、韓國、印度和東南亞地區(qū)，也將扮演重要角色。此外，未來六年，預(yù)計(jì)德國將繼續(xù)維持其在歐洲的領(lǐng)先地位，2022-2028年CAGR將大約為13.41%。

生產(chǎn)層面，目前美國是全球最大的射頻電源生產(chǎn)地區(qū)，占有大約46.62%的市場份額，之后是日本，占有大約18.35%的市場份額。目前全球市場，基本由美國和日本地區(qū)廠商主導(dǎo)，全球射頻電源頭部廠商主要包括萬機(jī)儀器、先進(jìn)能源、DAIHEN Corporation和XP Power等，前五大廠商占有全球大約56.64%的市場份額。

延伸報(bào)告：【2022-2028全球與中國射頻電源市場現(xiàn)狀及未來發(fā)展趨勢】本報(bào)告研究全球與中國市場射頻電源的產(chǎn)能、產(chǎn)量、銷量、銷售額、價(jià)格及未來趨勢。重點(diǎn)分析全球與中國市場的主要廠商產(chǎn)品特點(diǎn)、產(chǎn)品規(guī)格、價(jià)格、銷量、銷售收入及全球和中國市場主要生產(chǎn)商的市場份額。歷史數(shù)據(jù)為2017至2021年，預(yù)測數(shù)據(jù)為2022至2028年。

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