低溫等離子清洗機(jī)主要由等離子體發(fā)生器、氣體供給系統(tǒng)、反應(yīng)室、真空系統(tǒng)、電極及高壓電源等組成。

1. 等離子體發(fā)生器

等離子體發(fā)生器是低溫等離子清洗機(jī)的核心部件，其主要功能是產(chǎn)生等離子體。等離子體發(fā)生器一般由微波源、反射器、感應(yīng)線圈、介質(zhì)室等組成。微波源產(chǎn)生微波信號，經(jīng)過反射器反射，再由感應(yīng)線圈封裝的介質(zhì)室內(nèi)發(fā)生介質(zhì)放電，產(chǎn)生等離子體。

2. 氣體供給系統(tǒng)

氣體供給系統(tǒng)主要由氣體瓶、氣路系統(tǒng)、流量計等組成，其主要功能是供給反應(yīng)室內(nèi)所需的氣體。氣體供給系統(tǒng)一般包括氧氣、氮?dú)?、氬氣等?/p>

3. 反應(yīng)室

反應(yīng)室是低溫等離子清洗機(jī)中進(jìn)行清洗的主要場所，其主要功能是提供清潔空間，以便對清洗物進(jìn)行清洗。反應(yīng)室一般采用不銹鋼材料制成，具有較好的耐腐蝕性能。

4. 真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)主要由泵組、閥門、真空計等組成，其主要功能是提供反應(yīng)室內(nèi)的真空環(huán)境。真空系統(tǒng)一般采用機(jī)械泵、分子泵等。

5. 電極及高壓電源

電極及高壓電源主要用于產(chǎn)生等離子體，并對其進(jìn)行調(diào)節(jié)。電極一般由電極板及電極環(huán)組成，高壓電源則用于提供足夠的電壓，使電極產(chǎn)生強(qiáng)電場，從而產(chǎn)生等離子體。

低溫等離子清洗機(jī)解決用戶各類材料、產(chǎn)品的表面處理難題，是出色的表面工藝解決方案。