反滲透膜在半導(dǎo)體行業(yè)所需超純水設(shè)備中體現(xiàn)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)
據(jù)了解,像是半導(dǎo)體、顯示器等都需要用超純水作為清洗液體,所以這些行業(yè)的發(fā)展也都影響著超純水市場(chǎng)的發(fā)展。超純水在這些行業(yè)中的各種流程都需要用來作為清洗用水,來去除小的雜質(zhì)和顆粒,目前傳統(tǒng)的超純水制備工藝都需要定期進(jìn)行樹脂再生,既耗費(fèi)物力又浪費(fèi)人工,所以人們開始應(yīng)用一種新型的EDI超純水系統(tǒng)來進(jìn)行制備超純水,效果顯著不說出水水質(zhì)也是穩(wěn)定的。
該系統(tǒng)主要采用反滲透膜作為核心元件,該膜組件具有高脫鹽率,高抗污染,對(duì)硼、硅、鍺等元素的高去除率,TOC溶出率更低,從而減小后續(xù)系統(tǒng)處理壓力,提高后續(xù)系統(tǒng)的使用周期和使用效果。并且這種反滲透膜元件的化學(xué)清洗周期長,出水水質(zhì)穩(wěn)定,特別適用于電子級(jí)超純水EDI系統(tǒng)前處理,可以有效地控制電子級(jí)超純水系統(tǒng)的TOC含量。
反滲透膜在半導(dǎo)體行業(yè)所需超純水設(shè)備中體現(xiàn)的技術(shù)優(yōu)勢(shì):
1、反滲透膜組件的脫鹽率很高,單級(jí)反滲透脫鹽率一般可穩(wěn)定在97%以上,雙級(jí)反滲透脫鹽率一般在99%以上。
2、反滲透膜可以有效去除細(xì)菌等微生物、有機(jī)物,以及金屬元素等無機(jī)物,出水水質(zhì)優(yōu)于其它方法。
3、應(yīng)用反滲透膜組件制備超純水運(yùn)行成本及人工成本低廉,減少環(huán)境污染。
4、減緩了源水水質(zhì)波動(dòng)而造成的產(chǎn)水水質(zhì)變化,從而有利于生產(chǎn)中水質(zhì)的穩(wěn)定,這對(duì)純水產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定有積極的作用。
5、可減少后續(xù)處理設(shè)備的負(fù)擔(dān),從而延長后續(xù)處理設(shè)備的使用壽命。
以上,就是關(guān)于反滲透膜在半導(dǎo)體行業(yè)所需超純水設(shè)備中體現(xiàn)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)的介紹。反滲透膜生產(chǎn)超純水的工藝已經(jīng)很成熟,能夠有效地降低水的電導(dǎo)率和其中總?cè)芙庑怨腆w的含量,對(duì)大部分鹽類成分的截留率超過95%,并且水通量大。
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